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    所述浮置栅极和所述控制栅极包括第五导电层和第六导电层。根据某些实施例，芯片包括位于存储器单元的浮置栅极和控制栅极之间的三层结构的第二部分，浮置栅极和控制栅极推荐地分别包括第二层和第三层的部分。在下面结合附图在特定实施例的以下非限制性描述中将详细讨论前述和其他的特征和***。附图说明图1a-图1c示出了形成电子芯片的方法的实施例的三个步骤；图2a-图2c示出了图1a-图1c的方法的实施例的三个其他步骤；图3示出了电容式电子芯片部件的实施例；图4至图7示出了用于形成电子芯片的电容部件的方法的实施例的步骤；以及图8是示意性地示出通过用于形成电容部件的方法的实施例获得的电子芯片的结构的横截面视图。具体实施方式在不同的附图中，相同的元件用相同的附图标记表示。特别地，不同实施例共有的结构元件和/或功能元件可以用相同的附图标记表示，并且可以具有相同的结构特性、尺寸特性和材料特性。为清楚起见，*示出并详细描述了对于理解所描述的实施例有用的步骤和元件。特别地，既没有描述也没有示出晶体管和存储器单元的除栅极和栅极绝缘体之外的部件，这里描述的实施例与普通晶体管和存储器单元兼容。贯穿本公开。在上海如何评估自动芯片引脚整形机的性能指标，以便进行选择和比较？附近哪里有芯片引脚整形机厂家批发价

    快速芯片定位夹具及整形梳更换，实现快速产品切换，满足多品种批量生产。特殊倾斜齿形设计的整形梳，从引脚跟部插入到器件，提高对位效率和可靠性，降低芯片引脚预整形的要求。具备完备的系统保护功能，具有多种警告信号提示、紧急停止、自动报警功能。模块化结构设计，易于扩展升级和维护保养，整形修复在电子显微镜下监控完成，减少用眼疲劳。芯片引脚整形机具备防静电功能，确保被整形器件静电安全。整形修复精度达到±，修复后芯片引脚共面性≤。电源为100-240V交流，50/60Hz，电子显微镜视野及放大倍数为60*60mm，1-60倍，设备外形尺寸为760mm(L)×700(W)×760mm(H)，工作温度为25°C±10°C，适用于实验室及现场环境，湿度为20%--60%。这些特点使得TR-50S芯片引脚整形机成为电子制造领域中不可或缺的工具。 上海使用芯片引脚整形机哪里有卖的上海桐尔芯片引脚整形机，助力电子企业提升生产效率，保障产品质量。

    并且推荐地在部分c3外的绝缘体106的一部分(部分410)上延伸。在图4的步骤中，三层结构140形成在部分c3的内部和外部。三层结构140形成在位于部分c3内部的层120的部分上，并且也形成在沟槽104的绝缘体106上，推荐地与绝缘体106接触。三层结构140可以全部沉积在步骤s2中所获得的结构的上表面上。在图5的步骤中，三层结构140在部分c3的内部和外部被蚀刻。通过该蚀刻完全去除层140的水平部分。然而，实际上，层140的部分510可以保持抵靠层120的侧面。图6和7的步骤对应于图2c的步骤s6。在步骤s5中在层120上形成氧化硅层220。氧化硅层220可以在层120的侧面上延伸(部分610)。在图6的步骤中，在步骤s5中获得的结构上形成导电层240。在该步骤中，导电层240推荐地覆盖结构的整个上表面。在图7的步骤中，蚀刻围绕部分c3的部分结构。因此，所获得的电容元件264对应于由*位于部分c3中的层120、220和240形成的绝缘堆叠。作为示例，去除位于相关沟槽104的绝缘体106上的部分c3外部的所有区域。换句话说，堆叠264的侧面对应于层120、220和240的叠加侧，并且对应于部分c3的边缘。每个层120、220和240的侧面未被导电层的部分覆盖。在未示出的下一步骤中，可以用电绝缘体覆盖堆叠710的侧面。

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    在其他实施例中，可以蚀刻层240，使得层240的一部分保留在层120的侧面上和/或部分510和/或部分610上，留下部分510和/或610在适当位置。然而，层120的上角然后被层240围绕并且*通过层220和部分510和610与层240绝缘。这将导致前列效应，前列效应减小电容器的击穿电压。同样，部分510的存在可以导致电容器的较低的击穿电压和/或较高的噪声水平。相比之下，图4至图7的方法允许避免由层120的上角和部分510和610引起的问题。图8是示意性地示出通过用于形成电容部件的方法的实施例获得的电子芯片的结构的横截面视图。作为示例，电容部件是图1a-图2c的方法的电容部件264，位于电子芯片的部分c3中。与图4至图7的方法类似，图8的方法更具体地集中于形成和移除位于部分c3外部的元件。在与图1b的步骤s2对应的步骤中，层120处于部分c3中。层120横跨整个部分c3延伸，并且推荐地在部分c3外的绝缘体106的一部分(部分410)上延伸。在与图1c的步骤s3对应的步骤中，三层结构140形成在部分c3的内部和外部。三层结构140形成在位于部分c3内部的层120的该部分上，并且也形成在沟槽104的绝缘体106上，推荐地与绝缘体106接触。三层结构140可以沉积在步骤s2中所获得的结构的整个上表面上。接下来。上海桐尔芯片引脚整形机，为电子制造行业提供可靠的技术支持。上海使用芯片引脚整形机哪里有卖的

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