潮州新款晶圆运送机械吸臂联系人

装配机械人 ；这灯机械臂要有较高的位姿精度，手腕具有较大的柔性。目前大多用于机电产品的装配作业。⒌专门用途的机械臂 如医用护理机械臂、航天用机械臂、探海用机械臂以及排险作业机械臂等。三、按操作机的位置机构形式和自由度数量分类机械臂操作机的位置机构型式是机械臂重要的外形特征，按这一类标准，机械臂可分为直角坐标型，圆柱坐标型，球（极）坐标型、关节型机械臂（或拟人机械臂）。操作机本身的轴数（自由度数）**能反应机械臂的工作能力，也是分类的重要依据。按这一分类要求，机械臂可分为4轴（自由度）、5轴（自由度）、6轴（自由度）、7轴（自由度）等机械臂。还有其它多种分类方式。基本介绍工业设计工业机械人通常由六项基本元素所组成，包括：结构,臂端工具，电脑数码控制器，驱动器，量度回输系统和感应器。图为单轴机械手臂。单轴机械手臂的组件化**降低了工业设计的成本.潮州新款晶圆运送机械吸臂联系人

本发明涉及一种半导体制造技术，尤其是一种用于晶圆搬运的机械手。

背景技术：

在半导体加工设备中，经常需要将晶圆在各个工位之间进行传送，在传送的过程中，传送精度越高，设备工艺一致性就越好，速度越快，单台设备的产能就越大。随着半导体工艺的发展，设备处理的工艺越来越复杂，对设备自动化程度、柔性化程度要求也越来越高，这就需要一种定位精度高，速度快的多自由度的机械手。

技术实现要素：

本发明针对现有技术中的不足，提供了一种晶圆搬运机械手，本发明的机械手在传送过程中晶片中心始终保证直线运动，且角度不会发生改变。从而提高机械手整体刚度和承重能力，同时提高了重复定位精度。本发明结构合理性能稳定，维护方便，多功能集一身，可满足多种工艺设备要求，适用于各种半导体设备。

潮州新款晶圆运送机械吸臂联系人工业机械臂距离高精度的智能制造还有很长一段路要走。

晶圆运送机械吸臂主要由以下几个部分组成：

吸盘：用于吸附晶圆，通常采用真空吸附原理。吸盘材料应具有耐磨、耐腐蚀、低粒子产生等特性，以保证晶圆表面不受污染。

机械臂：用于支撑和移动吸盘，实现晶圆在不同工艺设备间的传送。机械臂应具有高精度、高稳定性和高刚性等特点，以确保晶圆在传送过程中的精确定位和平稳运输。

传动系统：为机械臂提供动力，实现吸臂的伸缩、旋转等动作。传动系统通常采用电机、减速器、传动带等部件组成，确保吸臂运动的准确性和稳定性。

控制系统：负责控制机械臂的运动轨迹、速度和加速度等参数。控制系统一般采用先进的伺服控制技术和高精度传感器，实现吸臂的高精度定位和稳定运行。

可用于300mm半导体晶圆搬送的5轴水平多关节洁净机械手臂GTCR5000系列。

单臂双手指结构能够实现和双臂结构同样的功能。

适用于300mm半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运。

机械手臂标准臂长: 210mm, 280mm机械手臂可以单独对应2个FOUP（210mm臂长）

或者3个FOUP（280mm臂长）双手指结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式配备动作监视器控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机通过S曲线加减速控制方式以及对运动轨迹的优化

能够高速，高精度地搬运半导体晶圆晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质 根据机械手运动和工作的要求，如管路、冷却装置、行程定位装置和自动检测装置等.

    确定性主要分为两种主要类型:结构(structured)不确定性和非结构(unstructured)不确定性,非结构不确定性主要是由于测量噪声、外界干扰及计算中的采样时滞和舍入误差等非被控对象自身因素所引起的不确定性。结构不确定性和建模模型本身有关,可分为系统模型①参数不确定性如负载质量、连杆质量、长度及连杆质心等参数未知或部分已知。②未建模动态高频未建模动态,如执行器动态或结构振动等;低频未建模动态,如动/静摩擦力等。模型不确定性给机械臂轨迹**的实现带来影响,同时部分控制算法受限于一定的不确定性。应用于机械臂控制系统的设计方法主要包括PID控制、自适应控制和鲁棒控制等,然而由于它们自身所存在的缺点,促使其与神经网络、模糊控制等算法相结合,一些新的控制方法也在涌现,很多算法是彼此结合在一起的。 直角坐标系机械手臂有三个主自由度。潮州新款晶圆运送机械吸臂联系人

此外，对于热加工的机械手，还要考虑热辐射，手臂要较长，以远离热源，并须装有冷却装置。潮州新款晶圆运送机械吸臂联系人

接下来是单晶硅生长，**常用的方法叫直拉法（CZ法）。如下图所示，高纯度的多晶硅放在石英坩埚中，并用外面围绕着的石墨加热器不断加热，温度维持在大约1400 ℃，炉中的气体通常是惰性气体，使多晶硅熔化，同时又不会产生不需要的化学反应。为了形成单晶硅，还需要控制晶体的方向：坩埚带着多晶硅熔化物在旋转，把一颗籽晶浸入其中，并且由拉制棒带着籽晶作反方向旋转，同时慢慢地、垂直地由硅熔化物中向上拉出。熔化的多晶硅会粘在籽晶的底端，按籽晶晶格排列的方向不断地生长上去。因此所生长的晶体的方向性是由籽晶所决定的，在其被拉出和冷却后就生长成了与籽晶内部晶格方向相同的单晶硅棒。潮州新款晶圆运送机械吸臂联系人

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