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电动式 电力驱动是目前机械臂使用得**多的一种驱动方式。其特点是电源方便，响应快，驱动力较大（关节型的持重已达400公斤），信号检测、传递、处理方便，并可以采用多种灵活的控制方案。驱动电机一般采用步进电机，直流伺服电机以及交流伺服电机（其中交流伺服电机为目前主要的驱动形式）。由于电机速度高，通常采用减速机构（如谐波传动、RV摆线针轮传动、齿轮传动、螺旋行动和多杆式机构等）。目前，有些机械臂已开始采用无减速机构的大转矩、低转速的电机进行直接驱动（DD），这既可以使机构简化，又可提高控制精度。二、按用途分⒈搬运机械臂 这种机械臂用途很广，一般只需点位控制。即被搬运零件无严格的运动轨迹要求，只要求始点和终点位姿准确。如机床上用的上下料器人，工件堆垛机械臂，注塑机配套用的机械等。手臂上的零部件，如油缸、导向杆、控制件等都安装在手臂上。深圳库存晶圆运送机械吸臂代理厂家

与传统的SCARA型搬运机械手相比，蛙腿型机械手的传动机构更简单，刚性更高，且工作效率更高。如上图所示，蛙腿型机械手手臂为对称双连杆的并联结构，包括1对大臂和2对小臂。2个直驱电机分别通过2个同轴的旋转轴连接大臂，大臂末端通过4个旋转轴连接尺寸相同的2对小臂，2对小臂的末端又通过2个旋转轴连接晶圆托盘。 该机械手虽然只有3个电机，但水平连杆却有10个旋转关节，因此对整个真空机械手建立旋转关节坐标与末端晶圆托盘坐标之间的函数关系是一个复杂的过程佛山直销晶圆运送机械吸臂代理价钱机械手臂应用场景多在制造业。

本发明针对现有技术中的不足，提供了一种晶圆搬运机械手，本发明的机械手在传送过程中晶片中心始终保证直线运动，且角度不会发生改变。从而提高机械手整体刚度和承重能力，同时提高了重复定位精度。本发明结构合理性能稳定，维护方便，多功能集一身，可满足多种工艺设备要求，适用于各种半导体设备。

为了解决上述技术问题，本发明通过下述技术方案得以解决：一种晶圆搬运机械手，包括升降轴、旋转轴和伸展轴，其特征为，所述的伸展轴包括伸展电机、一级伸展臂、二级伸展臂和手指固定座，所述的一级伸展臂与所述伸展电机之间设置有一级关节，所述的一级伸展臂与所述的二级伸展臂之间设置有二级关节，所述的二级伸展臂和所述的手指固定座之间设置有三级关节，所述的伸展电机、所述的一级关节、所述的二级关节和所述的三级关节依次传动，所述的手指固定座始终保持直线运动。

一种晶圆传输装置及其真空吸附机械手，该真空吸附机械手包括：手臂；固定在所述手臂上的吸附绝缘凸台；设置在所述手臂和吸附绝缘凸台内的真空气道；所述吸附绝缘凸台用于吸附待传送晶圆的背面，所述吸附绝缘凸台的硬度小于所述待传送晶圆的背面的硬度。由于吸附绝缘凸台的硬度小于待传送晶圆的背面的硬度，故利用真空吸附机械手将晶圆传送至所需位置之后，晶圆的背面中与真空吸附机械手接触的位置不会形成印记，提高了晶圆的合格率。通用性强，能适应多种作业；工艺性好，便于维修调整。手臂自重轻，其启动和停止的平稳性就好。

 晶圆是半导体行业的关键元件，随着半导体行业的迅速发展，晶圆的搬运技术逐渐成为制约行业发展的关键因素。晶圆搬运机械手是IC装备的**之一，其性能的优劣直接影响晶圆的生产效率和制造质量，体现着整个加工系统的自动化程度和可靠性。在晶圆加工系统中包含两类晶圆搬运机械手：大气机械手（FI robot) 和真空机械手(Vacuum robot)。前者将晶圆从晶圆盒中取出并放到预对准设备上，工作环境满足一定的大气洁净度要求，控制精度要求相对较低。后者将晶圆从预对准设备上取下，搬运到各个工位进行刻蚀等工艺流程加工，并将加工完的晶圆搬运到接口位置，等待大气机械手放回晶圆盒。这些工艺流程需要在真空环境下进行，机械手必须要完全满足真空洁净度要求，控制精度和可靠性要求极高。真空腔体开口于所述铝合金平板上表面.广州本地晶圆运送机械吸臂联系人

随着机器人技术的发展，应用高速度、高精度、高负载自重比的机器人结构受到工业和航空航天领域的关注。深圳库存晶圆运送机械吸臂代理厂家

    6)自适应控制。采用组合自适应控制将系统划分成关节子系统和柔性子系统。利用参数线性化的方法设计自适应控制规则来辨识柔性机械臂的不确定性参数。对具有非线性和参数不确定性的柔性机械臂进行了**控制器的设计。控制器的设计是依据Lyapunov方法的鲁棒和自适应控制设计。通过状态转换将系统分成两个子系统。用自适应控制和鲁棒控制分别对两个子系统进行控制。7)PID控制。PID控制器作为很受欢迎和**广泛应用的控制器,由于其简单、有效、实用,被普遍地用于刚性机械臂控制,常通过调整控制器增益构成自校正PID控制器或与其它控制方法结合构成复合控制系统以改善PID控制器性能。8)变结构控制。变结构控制系统是一种不连续的反馈控制系统,其中滑模控制是**普遍的变结构控制。其特点;在切换面上,具有所谓的滑动方式,在滑动方式中系统对参数变化和扰动保持不敏感,同时,它的轨迹位于切换面上,滑动现象并不依赖于系统参数,具有稳定的性质。变结构控制器的设计,不需要机械臂精确的动态模型,模型参数的边界就足以构造一个控制器。 深圳库存晶圆运送机械吸臂代理厂家

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