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连云港无尘净化车间设计

来源: 发布时间:2025年10月30日

十万级净化车间暖通系统回风比例需平衡洁净度与能耗,通常回风占总风量的 60%-70%,新风占 30%-40%。回风设计需注意:回风口气流速度≤2m/s,避免地面粉尘被吸入;回风管道需设置中效过滤器(F7),过滤回风中的悬浮颗粒,减轻高效过滤器负荷;当车间存在局部排风(如设备排风)时,需相应增加新风量,确保车间正压稳定。此外,回风系统需设置风阀联锁控制,当高效过滤器压差超标或车间洁净度异常时,自动降低回风比例、增加新风量,直至洁净度恢复正常,保障生产环境稳定。不同等级区压差梯度通常大于5Pa。连云港无尘净化车间设计

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电子行业万级洁净厂房需求是控制微粒与静电,需额外强化防静电与电磁屏蔽设计。地面除采用防静电环氧树脂自流平(表面电阻 10^6-10^9Ω)外,还需在地面下铺设铜箔接地网格,网格间距≤1.5m,确保静电快速消散。墙面优先选用导电型彩钢板,表面涂层添加导电颗粒,接缝处用导电密封胶填充,形成整体导电通路,接地电阻≤10Ω。设备布局需远离电磁干扰源,如变压器、高压线路,敏感设备(如芯片光刻机)周围需设置电磁屏蔽罩,屏蔽效能≥80dB(30MHz-1GHz)。空气净化系统需增设化学过滤器,去除 VOCs(挥发性有机化合物)与酸性气体,确保空气中有害气体浓度≤0.1ppm,避免腐蚀电子元件。此外,洁净区需设置防静电接地监测系统,实时监控接地电阻,超标时自动报警,保障电子元件生产过程中的静电安全。上海净化车间设计门禁系统控制人员进出,记录可追溯。

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万级净化车间人员净化流程需按 “多环节、全净化” 设计,人员从非洁净区进入洁净区需经过:换鞋(非洁净鞋→洁净鞋)→一更(脱外衣→穿洁净内衣)→洗手消毒(用抗菌洗手液洗手→75% 乙醇消毒)→二更(穿洁净服、戴口罩、手套、发帽)→风淋(风淋时间≥30 秒,风速≥25m/s)→洁净区。人员净化区需设置的换鞋间、更衣室、洗手消毒间与风淋室,换鞋间需配备上下分层鞋柜,洁净鞋与非洁净鞋分开存放;更衣室需每人配备 1 个带锁衣柜,衣柜尺寸≥600×500×1800mm;风淋室需设置双吹喷嘴,每侧≥6 个,喷嘴角度可调节,确保吹淋。此外,人员净化区需设置穿衣流程图,提醒人员规范操作,且风淋室需与洁净区设置联锁,风淋未完成时无法进入洁净区。

电子行业万级洁净区需防电磁干扰,墙面采用电磁屏蔽彩钢板,屏蔽效能≥80dB(30MHz-1GHz),彩钢板之间用导电胶条连接,形成整体屏蔽层;地面采用防静电导电地板,地板下方铺设铜箔接地网络,与墙面屏蔽层连接,形成立体屏蔽空间。设备布局需远离电磁干扰源,如变压器、高压电缆,敏感设备(如芯片测试设备)需单独设置屏蔽罩,屏蔽罩材质为铜网(网孔≤0.1mm),屏蔽效能≥60dB。此外,洁净区供电系统需设置电磁滤波器,过滤电网中的电磁干扰,滤波器安装在配电柜内,与设备电源连接,确保设备供电稳定,避免电磁干扰影响电子元件生产质量。工艺排风需单独处理后再排放。

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万级洁净厂房空调系统能耗占总能耗的 60% 以上,需建立能耗监测与优化体系。能耗监测方面,在空调机组、风机、水泵等设备上安装智能电表、流量计,实时监测设备耗电量、水耗量,数据传输至监控系统,生成能耗日报、月报,分析能耗变化趋势。能耗优化需从运行参数调整入手,如根据洁净区生产负荷变化,调节空调送风量(换气次数可在 25-30 次 /h 之间动态调整),避免过度通风导致能耗浪费;采用变频控制技术,当洁净区温湿度接近设定值时,降低风机、水泵转速,减少能耗。此外,可通过余热回收技术,利用空调排风预热或预冷新风,降低空调机组的冷热负荷,余热回收效率≥60%。定期对空调系统进行能耗审计,识别能耗浪费点,制定优化方案,如清洗过滤器、更换老化密封件,提升系统运行效率,实现能耗降低 10%-15% 的目标。维护结构气密性至关重要,无泄漏。南通专业净化

纯水、气体管道材质需高等级不锈钢。连云港无尘净化车间设计

万级净化车间节能设计需从源头降低能耗,空调系统采用变频技术,风机、水泵配备变频器,根据洁净区负荷变化调节转速,如生产淡季可降低风机转速,减少能耗 30% 以上;设置热回收装置,回收排风中的冷量或热量,热回收效率≥60%,夏季可降低空调机组制冷负荷,冬季减少加热能耗。照明系统选用 LED 节能灯具,功率密度≤8W/m²,配合人体感应传感器,人员离开后 30 秒自动关灯,无人区域照明能耗降低 80%。墙体与吊顶采用高效保温材料,彩钢板芯材选用高密度岩棉(导热系数≤0.04W/(m・K)),减少室内外热量传递,夏季降低空调制冷需求,冬季减少热量流失。此外,合理规划洁净区面积,避免过度设计,生产区按实际需求划定,辅助区域可适当降低洁净级别,减少空调系统运行负荷,通过多维度节能措施,实现净化车间整体能耗降低 15%-20%。连云港无尘净化车间设计

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