电子行业万级洁净区需防电磁干扰,墙面采用电磁屏蔽彩钢板,屏蔽效能≥80dB(30MHz-1GHz),彩钢板之间用导电胶条连接,形成整体屏蔽层;地面采用防静电导电地板,地板下方铺设铜箔接地网络,与墙面屏蔽层连接,形成立体屏蔽空间。设备布局需远离电磁干扰源,如变压器、高压电缆,敏感设备(如芯片测试设备)需单独设置屏蔽罩,屏蔽罩材质为铜网(网孔≤0.1mm),屏蔽效能≥60dB。此外,洁净区供电系统需设置电磁滤波器,过滤电网中的电磁干扰,滤波器安装在配电柜内,与设备电源连接,确保设备供电稳定,避免电磁干扰影响电子元件生产质量。维护结构气密性至关重要,无泄漏。扬州万级净化

十万级净化车间吊顶需采用轻钢龙骨 + 彩钢板系统,龙骨选用 40×30mm 热镀锌龙骨,间距≤1500mm,吊点间距≤1.8m,每个吊点承重能力≥120kg,可承载灯具、风口等设备重量。吊顶彩钢板厚度≥50mm,芯材为阻燃型岩棉(燃烧性能 A 级),表面涂层为抗静电型,表面电阻值 10^6-10^11Ω,减少静电吸附粉尘。吊顶需预留检修口,检修口尺寸≥500×500mm,数量按每 80㎡1 个设置,检修口盖板采用气密型设计,关闭后与吊顶间隙≤1mm。吊顶与墙面交接处需采用圆弧过渡,圆弧半径≥30mm,用密封胶密封,防止气流涡流导致粉尘堆积。扬州万级净化遵循GMP/ISO标准是设计的基本依据。

万级净化车间电气系统需符合防爆、防尘、防潮要求,配电系统采用 TN-S 接地方式,接地电阻≤4Ω,所有电气设备外壳、金属管道需可靠接地。照明系统选用 LED 洁净灯具,灯具防护等级≥IP65,光照度在生产区≥300lux、质检区≥500lux,灯具与吊顶的连接需用密封垫密封,避免粉尘进入灯具内部。动力配电方面,洁净区内插座需选用防水防尘型,安装高度≥1.2m,每间隔 3m 设置 1 个,插座回路需配备漏电保护器(漏电动作电流≤30mA)。电气管线需采用镀锌钢管暗敷,钢管连接采用丝扣连接,接口处用密封胶密封,防止管线内积尘,且管线穿越洁净区与非洁净区时,需在穿墙处设置密封套管,套管与管线之间用防火密封胶填充。
万级洁净区人员净化设施需满足 “多环节、全净化” 要求,人员净化区需设置换鞋间、一更更衣室、二更更衣室、洗手消毒间、风淋室。换鞋间需配备鞋柜(每人 1 个,上下分层,洁净鞋与非洁净鞋分开存放),地面铺设防静电地垫;一更更衣室需配备衣柜(每人 1 个,带锁)、座椅,墙面设置穿衣流程图;二更更衣室需配备无菌衣柜、洗手池(感应式水龙头)、消毒器(手部消毒用 75% 乙醇);风淋室需配备双吹喷嘴(每侧≥6 个),风淋时间≥30 秒,风速≥25m/s,风淋后人员需通过粘尘垫去除鞋底灰尘。净化设施需定期清洁消毒,每日擦拭衣柜、洗手池,每周更换粘尘垫,每月清洁风淋室喷嘴,确保净化效果。节能回风设计可大幅降低空调能耗。

十万级净化车间高效过滤器(HEPA)需选用 H12 级,安装方式采用 gasket 密封,gasket 材质为氯丁橡胶,压缩量控制在 30%-50%,确保密封紧密。安装前需对过滤器进行外观检查,确保无破损、变形,安装时需在洁净区内拆除包装,避免外界污染。安装完成后需进行检漏测试,采用气溶胶光度计法,将 PAO 气溶胶注入过滤器上游,用光度计在下游扫描检测,泄漏率≤0.05% 为合格。过滤器需定期更换,更换周期根据压差监测数据确定,当过滤器压差超过初始压差的 2 倍时,需及时更换。设计需预留未来工艺变更的灵活性。扬州万级净化
空调机房应就近布置,缩短风管距离。扬州万级净化
万级洁净厂房设备布局需遵循 “工艺流程合理、气流组织顺畅” 的原则,将产生粉尘、废气的设备布置在洁净区边缘或负压区域,避免对操作区造成污染。设备之间的间距需≥1.0m,设备与墙面、地面的间距需≥0.5m,便于清洁维护与气流流通。气流组织方面,需通过 CFD(计算流体力学)模拟优化送风口与回风口的位置,确保洁净区内气流均匀,无涡流区,操作区的风速控制在 0.3-0.4m/s,避免气流过快导致物料飞溅或过慢导致粉尘堆积。此外,设备排气管需接入排气系统,排气口需设置高效过滤器,防止有害气体或粉尘排放到室外,同时需对排气系统进行定期维护,确保排气通畅,避免因排气不畅导致洁净区压差失衡。扬州万级净化