万级净化车间噪声需控制在≤65dB,噪声控制从设备、管道、建筑三方面入手。设备噪声控制:选用低噪声空调机组(噪声≤75dB)、风机(噪声≤80dB),设备底座设置减震垫(减震效率≥80%),减少振动噪声。管道噪声控制:风管采用镀锌钢板,风速控制在主风管≤8m/s、支风管≤6m/s,避免气流噪声,风管转弯处设置导流片,减少湍流噪声,风管外壁包裹隔音棉(厚度≥50mm,隔音量≥25dB)。建筑噪声控制:洁净区墙面粘贴吸音棉(厚度≥50mm),吊顶采用吸声型彩钢板,吸声系数≥0.3(125-4000Hz),且洁净区与非洁净区之间的隔墙厚度≥100mm,降低外界噪声传入。此外,需定期检测洁净区噪声,每季度 1 次,若噪声超标需检查设备运行状态、风管是否漏风,及时调整与维修。管道保温材料也需不易脱落型。无锡十万级净化工程
万级洁净厂房彩钢板墙面拼接需达到 “无缝、密封、平整” 要求,施工时需采用企口式拼接工艺,彩钢板企口深度≥15mm,拼接时需在企口处涂抹密封胶,胶层厚度 3-5mm,确保拼接后无缝隙。墙面垂直拼接处需使用 L 型不锈钢压条固定,压条与彩钢板之间需填充密封胶,避免积尘;水平拼接处需设置排水坡度(≤1%),防止冷凝水堆积。彩钢板与地面、吊顶的交接处需采用圆弧过渡,圆弧半径≥50mm,圆弧件与墙面、地面用密封胶密封,密封胶需连续均匀,无气泡、断胶。拼接完成后,需用气溶胶光度计检测墙面密封性,泄漏率需≤0.01%,确保墙面无粉尘渗入通道。镇江无尘净化车间建设确认和验证是确保设计达标的关键。
电子行业万级洁净厂房需求是控制微粒与静电,需额外强化防静电与电磁屏蔽设计。地面除采用防静电环氧树脂自流平(表面电阻 10^6-10^9Ω)外,还需在地面下铺设铜箔接地网格,网格间距≤1.5m,确保静电快速消散。墙面优先选用导电型彩钢板,表面涂层添加导电颗粒,接缝处用导电密封胶填充,形成整体导电通路,接地电阻≤10Ω。设备布局需远离电磁干扰源,如变压器、高压线路,敏感设备(如芯片光刻机)周围需设置电磁屏蔽罩,屏蔽效能≥80dB(30MHz-1GHz)。空气净化系统需增设化学过滤器,去除 VOCs(挥发性有机化合物)与酸性气体,确保空气中有害气体浓度≤0.1ppm,避免腐蚀电子元件。此外,洁净区需设置防静电接地监测系统,实时监控接地电阻,超标时自动报警,保障电子元件生产过程中的静电安全。
万级洁净厂房竣工验收需按照 GB 50591-2010《洁净室施工及验收规范》执行,验收项目包括洁净度、温湿度、压差、风速、换气次数、噪声、照度等。洁净度检测采用激光粒子计数器,在洁净区内选取≥9 个检测点,每个检测点检测时间≥1min,检测结果需满足万级洁净区要求(≥0.5μm 粒子≤3520 粒 /m³)。温湿度检测采用温湿度记录仪,在洁净区内均匀布置≥5 个检测点,连续检测 24h,每小时记录 1 次数据,确保温度波动≤±2℃,湿度波动≤±5%。压差检测采用微压计,检测洁净区与非洁净区、不同洁净级别区域之间的压差,每个检测点检测 3 次,取平均值,需满足压差要求。此外,还需进行噪声检测(≤65dB)与照度检测(≥300lux),所有检测项目合格后方可通过验收,交付使用。监控系统实时监测温湿压差等。.
万级净化车间门窗需具备高气密性与防尘性,洁净门选用不锈钢门或彩钢板门,门体厚度≥50mm,门扇与门框的缝隙≤1mm,配备双层硅橡胶密封胶条,密封胶条耐温范围 - 50℃-200℃,压缩量 30%-50%,确保关闭后门缝泄漏率≤0.1m³/(h・m)。洁净窗采用双层中空钢化玻璃,玻璃厚度≥5mm,中空层厚度≥12mm,窗框采用铝合金或不锈钢材质,窗框与墙面的连接需用密封胶密封,玻璃与窗框的缝隙需填充防火密封胶,防止粉尘渗入。门的开启方向需朝向洁净度高的区域,且需设置闭门器与电子联锁装置,确保两门不能同时开启,防止压差失衡。此外,门窗需设置防撞条,防撞条材质为橡胶,高度 1.2m,避免运输设备碰撞损坏。风管需内壁光滑,不易积尘便于清洗。苏州无尘净化工程
工艺排风需单独处理后再排放。无锡十万级净化工程
十万级净化车间通风管道需按规范设置防火阀:穿越防火分区的风管需设置 70℃熔断式防火阀;穿越机房与洁净区的风管需设置 280℃排烟防火阀;风管分支处需设置防火调节阀。防火阀安装需符合:阀体与风管法兰连接紧密,密封胶填充均匀;阀体需垂直或水平安装,阀片开启方向与气流方向一致;防火阀需与消防控制系统联锁,当火灾发生时,消防信号触发防火阀关闭,同时关闭对应的风机,防止火势通过风管蔓延。此外,需定期(每季度)检查防火阀动作性能,手动开启与关闭阀片,确保灵活无卡滞,熔断片无锈蚀,保障火灾时可靠动作。无锡十万级净化工程