半导体数据中心 SST 超高洁净供电解决方案

半导体数据中心支撑着芯片设计、晶圆检测、光刻工艺控制等关键业务，是半导体制造产业链的关键环节，对供电的洁净度、抗干扰能力、稳定性有着非常要求。芯片制造与检测设备对电压纹波、电磁干扰极为敏感，微小的供电波动都可能导致芯片检测数据误差、光刻工艺偏差，进而引发芯片返工甚至报废。传统变压器存在电磁干扰大、电压纹波高、运行时产生粉尘等问题，难以满足半导体数据中心的严苛需求。某半导体企业的数据中心，因采用传统变压器供电，输出电压纹波超 5mV，导致晶圆检测设备的采样误差率达 2.5%，每月有超 3% 的晶圆因检测误差返工，直接经济损失超千万元；同时，传统变压器运行时产生的粉尘，对洁净室环境造成污染，增加了芯片制造的杂质风险。为满足半导体行业的超高洁净供电需求，半导体数据中心 SST 超高洁净供电解决方案应运而生，相关定制化产品将在 2026.6.3-2026.6.5 上海新国际博览中心数据中心固态变压器（SST）展览会展出。

该方案的关键是采用专为半导体行业定制的超高洁净 SST 设备，通过创新的电路设计与工艺优化，实现非常的供电洁净度与抗干扰能力。设备内部采用模块化设计与高精度有源滤波技术，可有效滤除电网中的谐波与杂波，输出电压纹波严格控制在 0.3mV 以内，电压稳定精度达 ±0.01%，为芯片设计与检测设备提供 “零干扰” 的洁净供电环境。针对半导体洁净室的严格要求，SST 设备采用无风扇自然散热设计，摒弃传统的风冷散热方式，运行过程中无气流扰动，无粉尘排放；设备外壳采用不锈钢材质，表面经过防静电、防腐蚀处理，可直接部署于 Class 100 级洁净室内，运行噪音低于 30dB，完全符合洁净室的环境标准。

在抗电磁干扰方面，SST 设备采用全屏蔽设计，内部元器件与外部环境完全隔离，可抵御光刻机、蚀刻机等半导体设备产生的强电磁辐射，同时自身电磁辐射强度远低于行业标准，避免对芯片制造设备造成干扰。针对半导体数据中心的高可靠灾备需求，方案采用双路 SST 冗余供电架构，两路 SST 设备同时运行、互为备份，切换时间小于 0.3ms，确保关键设备供电不中断。某半导体企业应用该方案后，晶圆检测数据误差率从 2.5% 降至 0.1%，晶圆返工率降低 90%，数据中心运行稳定性提升至 99.9999%，不仅大幅降低了生产成本，更提升了芯片产品的良率与品质，为半导体行业的高质量发展提供了可靠的供电保障。