半导体晶圆厂配套数据中心 SST 高洁净供电方案

半导体晶圆厂配套数据中心是支撑晶圆制造、检测、研发的核心数据中枢，其供电环境有着极为严苛的要求：一方面，晶圆厂内光刻机、蚀刻机等关键生产设备会产生强电磁干扰，传统变压器无法有效屏蔽电磁辐射，易导致数据中心服务器、检测设备运行异常；另一方面，数据中心供电需具备极高的洁净度，电压纹波过大将导致晶圆检测数据误差，影响产品合格率；同时，晶圆厂洁净室对设备的粉尘排放、运行噪音有严格限制，传统变压器运行时产生的粉尘与噪音难以满足要求。某半导体晶圆厂配套数据中心，因采用传统变压器供电，受光刻机强电磁干扰影响，晶圆检测数据误差率超 2%，导致大量晶圆产品返工；同时，变压器运行时产生的粉尘不符合洁净室标准，需额外投入高额成本进行粉尘治理，运行噪音超 60dB，影响车间作业环境。针对这一高质制造领域的特殊供电需求，半导体晶圆厂配套数据中心 SST 高洁净供电方案应运而生，相关定制化产品将在 2026.6.3-2026.6.5 上海新国际博览中心数据中心固态变压器（SST）展览会上展出。

该方案专为半导体晶圆厂场景定制，采用 “低电磁干扰 SST + 洁净室特定设计” 的关键架构，详细满足高洁净、低干扰、高可靠的供电需求。在电磁干扰防护上，SST 设备外壳采用体制级电磁屏蔽材料，通过多层屏蔽结构设计，可有效抵御晶圆厂光刻机、蚀刻机等设备产生的强电磁干扰，同时自身电磁辐射强度降低 80% 以上，符合半导体行业严格的 EMC 电磁兼容标准。设备内部采用无风扇自然散热设计，避免了风扇运行产生的气流扰动与粉尘扩散，运行过程无粉尘排放，完全满足晶圆厂洁净室的粉尘控制要求。在供电洁净度保障上，方案搭载高精度电压稳定与纹波抑制算法，SST 设备输出电压纹波严格控制在 0.5mV 以内，电压稳定精度达 ±0.01%，为数据中心服务器、晶圆检测设备提供极端洁净的供电环境，有效降低检测数据误差率。

某半导体晶圆厂应用该方案后，晶圆检测数据误差率从原来的 2.1% 降至 0.3% 以下，晶圆产品合格率提升 3%，年减少返工损失超 800 万元。在运行噪音控制上，SST 设备采用全封闭静音设计，运行噪音低于 35dB，远低于传统变压器的 60dB 噪音水平，明显改善了晶圆厂车间的作业环境。在可靠性与协同性设计上，方案采用高可靠冗余配置，SST 设备关键组件均采用双冗余设计，故障切换时间小于 0.5ms，满足晶圆厂 7×24 小时连续生产的需求；同时，SST 设备支持与晶圆厂生产系统深度联动，可根据晶圆制造工序的不同阶段，自动调整供电策略，保障检测设备与数据中心的同步运行，提升生产效率。此外，方案还具备远程监控与智能诊断功能，通过配套的供电管控平台，可实时监测 SST 运行状态，提前预警潜在故障，实现设备无人化运维，减少对洁净室环境的干扰。该方案成功解决了半导体晶圆厂配套数据中心的电磁干扰、粉尘污染、供电洁净度等关键痛点，成为半导体行业与数据中心跨领域供电协同的典范，已在多家高质晶圆厂项目中落地应用。