真空泵行业现分化：半导体替代提速，节能技术打开新空间

市场分化：光伏承压与半导体突围并存2025 年上半年，国内真空泵市场结构性特征凸显。头部企业汉钟精机的真空产品营收从 37.78% 的占比跌至 18.57%，毛利率同比下降 9.84 个百分点，**原因是光伏行业需求疲软拖累高毛利光伏真空泵销售。但与此同时，半导体领域的国产替代进程正在加速，该公司半导体真空泵已进入多家芯片制造企业供应链，成为未来重点发力方向。观研报告网数据显示，半导体、锂电等战略新兴领域正成为真空泵需求增长的**驱动力。以半导体制造为例，单条 12 英寸晶圆生产线需配备数百台真空泵，国产产品凭借成本优势和技术突破，在刻蚀、离子注入等关键工艺环节的替代率已从 2023 年的不足 15% 提升至 2025 年的 28%。技术革新：节能与智能成破局关键在光伏领域遇冷的同时，节能型真空泵技术正开辟新市场。上海伊莱茨研发的全球较早智能变频真空维持系统，打破传统两级真空泵组技术限制，极限真空度高出一个数量级，在火电厂凝汽器抽真空系统中实现 60%-80% 的节能效果，设备占地面积更减少 30%。该系统已应用于国能、华能等发电集团，每年为国内电厂节电约 5000 万度，减少碳排放 50 多万吨。针对**工业场景，伊莱茨还推出多级罗茨干混系统，攻克耐大压差、强乳化等技术难题，成功适配直接风冷和间接风冷凝汽器真空系统，打破国外技术垄断。其研发的**罗茨真空泵通过 CE 和 ATEX 防爆认证，部分性能参数超越国际竞品，已进入瑞士垃圾焚烧发电厂等海外市场。政策驱动：绿色标准重塑行业生态政策层面正为真空泵行业发展定向导航。《“十四五” 工业绿色发展规划》《大气污染防治行动计划》等政策明确要求推广节能环保型设备，通过严格能效标准和环保认证体系倒逼行业升级。在此背景下，具备低能耗、低噪音特性的产品迎来发展机遇。汉钟精机顺势调整战略，将重心转向数据中心制冷领域，其永磁变频螺杆式、磁悬浮离心式制冷压缩机精细契合 AI 数据中心的高效制冷需求，技术处于市场**地位，有望成为新增长极。中国报告大厅指出，**还通过财政补贴、税收优惠等激励措施，推动企业加快绿色技术应用，2025 年小型真空泵行业绿色产品占比已突破 40%。应用拓展：从工业制造到绿色基建真空泵的应用边界正持续拓宽。在制药领域，真空设备已***用于药品干燥、溶剂回收等工艺，确保无菌生产环境；在数据中心领域，随着 AI 算力需求激增，高效真空制冷设备成为刚需，汉钟精机等企业已接到腾讯、阿里等企业的批量订单；在新能源领域，伊莱茨的智能节能真空泵组已适配锂电负极材料烧结工艺，帮助企业降低生产能耗 35%。“行业正从规模扩张转向质量提升。” 中国真空学会**表示，半导体替代和绿色节能将成为未来三年真空泵行业的两大主线。预计到 2028 年，国内半导体真空泵市场规模将突破 50 亿元，节能型真空泵在工业领域的渗透率将超 60%。汉钟精机透露，其下一代半导体用干式真空泵已完成原型机测试，抽速较现有产品提升 40%；伊莱茨则计划与高校合作开发新材料，进一步降低设备能耗。