且过滤部件能将内部的过滤板进行拆卸更换,有效的提高了装置连接安装的便利性。2.高蚀刻速率无残留酸性铝蚀刻液生产装置,连接构件,连接构件设置在搅拌仓的底部,连接构件与搅拌仓固定连接,连接构件能将装置主体内部的两个构件进行连接并固定,且在将两构件进行连接或拆卸的时候,不需要使用任何工具就能完成安装和拆卸工作,有效的提高了装置连接的实用性。附图说明图1为本实用新型的整体结构示意图;图2为本实用新型的过滤部件剖视图;图3为本实用新型的连接构件剖视图;图4为本实用新型的内部构件连接框架图。图中:1、装置主体,2、支撑腿,3、电源线,4、单片机,5、控制器,6、防滑纹,7、密封阀门(z45x-16),8、收集仓,9、过滤部件,10、常闭式密封电磁阀(zca-15biii02-10),11、连接构件,12、海绵层,13、搅拌电机(5ik),14、去离子水储罐,15、磷酸储罐,16、醋酸储罐,17、硝酸储罐,18、阴离子表面活性剂储罐,19、聚氧乙烯型非离子表面活性剂储罐,20、氯化钾储罐,21、硝酸钾储罐,22、密封环,23、搅拌仓,24、滑动盖,25、收缩弹簧管,26、过滤板,27、螺纹管,28、活动轴,29、密封软胶层。具体实施方式下面将结合本实用新型实施例中的附图。苏州博洋化学您正确的选择,欢迎咨询。江苏蚀刻液报价
技术实现要素:本实用新型的目的在于提供高蚀刻速率无残留酸性铝蚀刻液生产装置,以解决上述背景技术中提出密封性差,连接安装步骤繁琐的问题。为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:高蚀刻速率无残留酸性铝蚀刻液生产装置,包括装置主体、支撑腿、电源线和单片机,所述装置主体的底端固定连接有支撑腿,所述装置主体的后面一侧底部固定连接有电源线,所述装置主体的一侧中间部位固定连接有控制器,所述装置主体的内部底端一侧固定连接有单片机,所述装置主体的顶部一端固定连接有去离子水储罐,所述装置主体的顶部一侧固定连接有磷酸储罐,所述磷酸储罐的底部固定连接有搅拌仓,所述搅拌仓的内部顶部固定连接有搅拌电机,所述搅拌仓的另一侧顶部固定连接有醋酸储罐,所述装置主体的顶部中间一侧固定连接有硝酸储罐,所述装置主体的顶部中间另一侧固定连接有阴离子表面活性剂储罐,所述阴离子表面活性剂储罐的另一侧固定连接有聚氧乙烯型非离子表面活性剂储罐,所述装置主体的顶部另一侧固定连接有氯化钾储罐,所述装置主体的顶部另一端固定连接有硝酸钾储罐,所述装置主体的内部中间部位固定连接有连接构件。池州格林达蚀刻液产品介绍蚀刻液的主要成分是什么?
该宣泄孔121的上孔径a1与下孔径a2亦不相等,且该上孔径a1小于该下孔径a2,或该宣泄孔121由该第二挡板12的下表面122朝向上表面123的方向渐缩,以维持毛细现象而避免该药液51滴入该基板20上而造成蚀刻不均的问题。当该风刀装置40的***风刀41与该第二风刀42为了减少该基板(本图式未标示)上所残留的药液51而吹出该气体43时,该气体43碰到该挡液板结构10后部分会往该复数个宣泄孔121流动,并朝向该第二挡板12的该上表面123宣泄而出(如图10与图11所示),除了保有原有挡液板的防止该药液51喷溅而造成的显影不均现象,亦可达到避免该气体43在该基板20附近形成涡流而造成真空吸引问题;为了必须避免由该喷洒装置50喷洒而出的药液51滴入该基板20上而造成蚀刻不均的问题,故该复数个宣泄孔121的孔径a0必须要足够小,例如:孔径a0小于3mm,即可因毛细现象的作用,亦即该水滴于该宣泄孔121孔洞内的夹角θ等于该水滴与该第二挡板12的该上表面123所夹的接触角θ4,而达到防止位于该第二挡板12上表面的药液51水滴经由该复数个宣泄孔121滴下至该基板20上(如图12所示)。另请参阅图13所示,为本实用新型蚀刻设备的蚀刻方法的步骤流程图,其中本实用新型蚀刻设备的蚀刻方法主要包括有下列步骤。
图7:本实用新型蚀刻设备其一较佳实施例的挡液板结构运作局部放大图。图8:本实用新型蚀刻设备其一较佳实施例的挡液板结构结合风刀装置示意图。图9:本实用新型蚀刻设备其一较佳实施例的宣泄孔的表面张力局部放大图。图10:本实用新型蚀刻设备其二较佳实施例的挡液板结构结合风刀装置示意图。图11:本实用新型蚀刻设备其三较佳实施例的挡液板结构结合风刀装置示意图。图12:本实用新型挡液板结构其二较佳实施例的宣泄孔的表面张力局部放大图。图13:本实用新型蚀刻方法的步骤流程图。图号说明:传统挡液板结构a挡液板结构b风刀c气体本实用新型1蚀刻设备10挡液板结构11***挡板12第二挡板121宣泄孔1211***壁面1212第二壁面122下表面123上表面13第三挡板20基板30输送装置31滚轮40风刀装置41***风刀42第二风刀43气体50喷洒装置51药液s1步骤一s2步骤二s3步骤三s4步骤四h长度θ夹角θ1***夹角θ2第二夹角θ3第三夹角θ4接触角a0孔径a1上孔径a2下孔径w、w1、w2距离。具体实施方式首先,请参阅图2与图3所示,为本实用新型挡液板结构其一较佳实施例的整体结构示意图,以及宣泄孔排列示意图,其中本实用新型的挡液板结构10适用于一湿式蚀刻机(图式未标示)。BOE蚀刻液的主要成分。
将hno3、四甲基氢氧化铵、h2o2分别投入对应的原料罐,备用;第三步:根据混酸配制表算出各个原料的添加量,按照纯水→亚氨基二乙酸→氢氟酸→hno3→四甲基氢氧化铵→乙醇酸的顺序依次将原料加入调配罐,将上述混料充分搅拌,搅拌时间为3~5h;第四步:在第三步的混料中再添加h2o2,继续搅拌混匀,搅拌时间为3~5h,用磁力泵将混合液通过过滤器循环过滤。作为推荐的技术方案,所述磁力泵出口压力≤,过滤器入口压力≤。根据制备铜蚀刻液的原料确定磁力泵的出口压力和过滤器的入口压力,包装原料可以被充分过滤。作为推荐的技术方案,所述调配罐内的温度设定在30~35℃。调配罐的温度不能超过35℃,由于过氧化氢的密度随温度的升高而减小,因此保证交底的反应温度有助于保证原料体系的稳定作为推荐的技术方案,所述过滤器的微滤膜孔径为~μm。作为推荐的技术方案,第三步中各种原料在~,调配罐内填充氮气,搅拌速度为30~50r/min。作为推荐的技术方案,原料罐和调配罐大拼配量不超过罐容积的80%。本发明的优点和有益效果在于:本发明在制备酸性铜蚀刻液的过程中,用低温纯水(10℃)替代常温纯水(25℃),将低温纯水加入反应体系中,降低反应体系的反应温度。蚀刻不同金属用到的蚀刻液一样吗?南京BOE蚀刻液蚀刻液报价
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本实用新型有关于一种挡液板结构与以之制备的蚀刻设备,尤其是指一种适用于湿式蚀刻机的挡液排液功能且增加其透气性以降低产品损耗的挡液板结构与以之制备的蚀刻设备。背景技术:请参阅图1所示,为传统挡液板结构的整体设置示意图,其中一实心pvc板态样的挡液板结构a设置于一湿式蚀刻机(图式未标示)内,主要用以阻挡一蚀刻药液(图式未标示)对设置于该挡液板结构a下方的基板(图式未标示)的喷溅而造成蚀刻不均匀的现象,并且在湿式蚀刻的制程步骤中,该基板设置于二风刀b之间,当该基板设置于一输送装置(图式未标示)而由该挡液板结构a的左方接受蚀刻药液蚀刻后移动至风刀b之间,该等风刀b再喷出一气体c到该基板的表面以将该基板表面残留的蚀刻药液吹除;然而,当在该等风刀b进行吹气的状态下,容易在该挡液板结构a下方形成微小的真空空间而形成涡流并造成真空吸板的问题;因此,如何有效借由创新的硬体设计,确实达到保有原始挡液板的挡液效果,以及增加透气性以破除真空以减少因真空吸板导致的基板刮伤或破片风险,仍是湿式蚀刻机等相关产业开发业者与相关研究人员需持续努力克服与解决的课题。江苏蚀刻液报价