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电子氟化液是一种无色透明,无味,热稳定的全氟化液体,非常适合于半导体制造工业上的许多单相热传导应用。这样非常适合于蚀刻机、离子注入机、测试设备等许多设备上的热传导的应用。因为电子氟化液主要是单键化合物,所以组分不会随时间变化或分解,这样也使得流体损失可以降至比较低,传输性质不会随时间而变化。特点:无色、无味、无毒、不燃烧,ODP值为零;表面张力低、黏度小、蒸发潜热小。产品特性良好的溶解力低表面张力,低粘度,良好的润湿性优异的材料相容(与水不相容)良好的热稳定性,安全,不燃,ODP值为零,对臭氧无破坏,温室效应低
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