半导体立式炉用氧传感器的精度要求是多少？

上海高传电子科技有限公司2026-06-09

半导体工艺对氧浓度控制要求高，一般需要氧传感器精度达到±1%FS以内，微量氧检测需要达到ppm级精度，才能满足工艺要求。

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