半导体立式炉的炉腔泄漏可以用氧传感器检测吗？

上海高传电子科技有限公司2026-06-09

可以，炉腔如果发生泄漏，外界空气进入会导致氧浓度上升，氧传感器可以快速检测到氧浓度异常，提醒运维人员及时检修，避免批次产品报废。

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简介：专注于温度传感器、压力传感器、位移传感器、气体传感器，秉持“顾客至上诚信为本”的经营理念，欢迎洽谈。

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