数字压力传感器生产流程包含哪些？

北京华毅澳峰自动化设备有限公司2025-11-13

华毅澳峰数字压力传感器生产流程聚焦精度与稳定性，基准含五大关键环节，具体如下： 1. 基准元件制备：选用进口超高纯度单晶硅，通过MEMS技术加工成50 - 200μm厚膜片，采用双梁悬浮式微机械加工工艺制作对称惠斯通电桥，还会在芯片表面覆盖高温氧化SiO₂保护膜防腐蚀。 2. 组件精密装配：用玻璃微熔等技术固定应变片，再通过激光焊接将集成电路组件与敏感组件连接，用绑线连接应变片并点胶固化；后续组装接插件与壳体，壳体采用特殊工艺制造，保障整体密封性。 3. 信号调试补偿：接入校准系统，对传感器做温度、非线性等零点补偿，通过算法修正误差，像S600N系列可将非线性误差控制在0.02%FS以内。 4. 密封封装处理：采用真空封装与激光焊接工艺，增强设备密封性和抗腐蚀性，避免介质渗漏与环境干扰，适配恶劣工况。 5. 老化测试出厂：将成品放入温箱，结合压力控制器做高低温、压力循环等老化测试，检测输出稳定性，合格后标注参数，完成出厂质检流程。