怎么监控HFN硝酸的浓度波动情况？

无锡迅杰光远科技有限公司2026-05-27

使用IAS-M100化学药液浓度计，将其安装在HFN，即氢氟酸加硝酸药液循环管路上。仪器实时检测HF、HNO₃和H₂O的浓度，每3秒输出一次数据。当硝酸浓度波动超出设定范围，例如66%到70%时，系统可发出报警或自动调节补加量，确保蚀刻速率稳定。迅杰光远的IAS-M100对HFN中HNO₃检测精度为±0.4%。关于报警阈值设置和数据处理，可访问官网联系客服了解。

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