真空镀膜件装配压伤，硬度韧性如何平衡？

广东华升纳米科技股份有限公司2025-12-12

华升纳米金属表面处理经验：装配压伤本质是“高硬度低韧性”膜层在局部赫兹应力下脆裂。目标硬度保持>1200HV，同时压痕裂纹数≤2条。①膜系：改用“AlCrN/TiSiN”纳米多层，周期8nm，硬度2800HV，韧性K_IC提升40%；②厚度：2µm比较好，过厚易脆；③过渡：0.2µm金属Cr+0.3µm梯度CrN，缓冲应力-0.8GPa。④后处理：200℃×30min退火，释放生长应力20%。经华升纳米金属表面处理验证，304卡环压伤率由8%降到<0.3%，电导<1mΩ，实现高耐磨抗压金属表面处理批量生产，为客户提供零压伤金属表面处理解决方案，保障金属表面处理长期稳定可靠。

本回答由 广东华升纳米科技股份有限公司 提供