蓝宝石长晶炉用什么真空机组？

深圳市滨海真空技术有限公司2026-08-05

蓝宝石晶体生长炉采用泡生法或热交换法，需在10⁻² Pa以下真空或低压氩气中长时间运行。滨海真空为蓝宝石长晶炉配套罗茨螺杆真空机组，以干式螺杆泵为前级、罗茨泵为主泵，极限真空优于10⁻² Pa，抽速匹配炉体容积。机组无油无水，长期运行真空度稳定。某蓝宝石衬底厂使用后，晶体气泡和裂纹缺陷减少，A级品率提升约8%。我们在泵组入口设置氧化铝粉尘过滤和隔热挡板，保护泵体。滨海真空在蓝宝石长晶领域已有数十套机组交付。

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