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博维仪器的MFC气路控制有几路？精度如何？

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苏州博维仪器科技有限公司2026-08-05

配置3路高精度质量流量控制器，包括冷却气、辅助气、雾化气，均由ICP-OES软件直接控制，精度0.01L/min

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江苏省苏州市昆山市昆山市张浦镇源浦路210号6号房
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