精密仪器洁净室粒子超标怎么办？

上海中湖洁净科技有限公司2026-08-27

精密仪器洁净室粒子浓度超标时，应按以下步骤排查和处理：一是确认检测状态（静态/动态）和检测方法是否正确，排除检测误差；二是检查高效过滤器是否破损或泄漏，进行PAO检漏，发现泄漏及时更换或修补；三是检查围护结构密封性，门窗、墙板接缝、管线穿墙处是否有渗漏，发现缝隙及时密封；四是检查压差是否正常，洁净区是否维持正压，若压差不足需调整风量或排风量；五是检查人员管理，是否按规范更衣、风淋，人员数量是否过多，操作动作是否过；六是检查物料和设备是否清洁，是否有产尘源；七是检查空调系统运行状态，风机频率、换气次数是否达标。上海中湖洁净建议建立日常粒子监测制度，发现异常及时处理，定期更换过滤器，确保洁净度长期稳定。