苏州贝格纳工业设备有限公司2026-03-31
AVITAB-SLM-MD隔振桌能够自动适应光刻机等设备的负载变化和重心转移。它采用非接触式传感器系统实时监测负载状态,通过智能控制算法调整支撑参数,确保桌面始终保持水平稳定。这种自适应能力对于光刻机这种高精度、高动态设备尤为重要。贝格纳的隔振技术让设备始终处于较佳工作状态。
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