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微流控芯片键合温度偏差如何影响通道变形？

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江苏优众微纳半导体科技有限公司2026-09-16

键合温度偏差>20°C时，通道热应力导致变形>2μm，流量一致性下降>15%。

本回答由 江苏优众微纳半导体科技有限公司 提供

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联系人： 刘娟

手   机： 19827086768

网   址： http://www.yz-micronano.com/about.html

地   址：
江苏省南通市通州区南通高新技术产业开发区双福路126号
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