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DOE台阶高度偏差如何影响波前相位精度？

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江苏优众微纳半导体科技有限公司2026-08-08

台阶高度偏差±2nm会导致波前相位误差约λ/50（@633nm），衍射效率降低<3%。

本回答由 江苏优众微纳半导体科技有限公司 提供

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简介：江苏优众微纳半导体科技有限公司专注于纳米压印技术，提供半导体微纳器件解决方案。
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江苏优众微纳半导体科技有限公司

联系人： 刘娟

手   机： 19827086768

网   址： http://www.yz-micronano.com/about.html

地   址：
江苏省南通市通州区南通高新技术产业开发区双福路126号
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