热处理模块对光刻胶有什么影响？

无锡凡华半导体科技有限公司2025-08-14

光刻胶对温度很灵敏，少量温度变化对先进制程的光刻胶膜厚影响较大。热处理模块中的热板需严格确保温度加热的均匀性，并对升温过程的精确度提出高标准要求，保证光刻工艺质量。

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简介：无锡凡华半导体科技有限公司主营甩干机、涂胶显影机、激光打标机，IPA干燥机，晶舟转换器，花篮清洗机等

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