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晶舟转换器的材质要求是什么?

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无锡凡华半导体科技有限公司2026-05-22

主体通常用铝合金(6061-T6)或不锈钢(316L),表面做阳极氧化或电镀处理。接触晶圆的部位必须用高纯度PEEK或工程陶瓷,避免金属离子污染晶圆表面。洁净度要求Class 1000以上。

无锡凡华半导体科技有限公司
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简介:无锡凡华半导体科技有限公司主营甩干机、涂胶显影机、激光打标机,IPA干燥机,晶舟转换器,花篮清洗机等
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