无锡凡华半导体科技有限公司2026-05-22
主体通常用铝合金(6061-T6)或不锈钢(316L),表面做阳极氧化或电镀处理。接触晶圆的部位必须用高纯度PEEK或工程陶瓷,避免金属离子污染晶圆表面。洁净度要求Class 1000以上。
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