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TGV通孔圆度偏差如何影响电镀填充？

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江苏优众微纳半导体科技有限公司2026-09-15

圆度偏差>5%时，电场分布不均，电镀铜填充空洞率>8%，互连电阻增大。

本回答由 江苏优众微纳半导体科技有限公司 提供

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江苏优众微纳半导体科技有限公司

联系人： 刘娟

手   机： 19827086768

网   址： http://www.yz-micronano.com/about.html

地   址：
江苏省南通市通州区南通高新技术产业开发区双福路126号
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