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光栅线边缘粗糙度如何影响散射损耗？

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江苏优众微纳半导体科技有限公司2026-08-26

光栅线边缘粗糙度（LER）从2nm增至5nm时，散射损耗从0.5dB/cm增至2dB/cm，主要原因是侧壁粗糙度增加了光的漫散射，需将LER控制在<3nm。

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