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光栅槽深误差如何影响衍射效率？

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江苏优众微纳半导体科技有限公司2026-08-26

光栅槽深误差±3nm会使衍射效率从90%降至85%，原因是槽深偏差导致各衍射级次之间的相位差偏离布拉格条件，需控制槽深均匀性<±2nm。

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