德国真空泵在氦气检漏回收中怎么用？

深圳市滨海真空技术有限公司2026-07-12

氦质谱检漏和回收系统需要真空泵快速抽空且无油，以保证本底干净和回收氦气纯净。滨海真空为检漏设备配套的德国贝克干式螺杆罗茨机组，可在短时间内将工件抽至10 Pa以下。德国真空泵全无油，不产生碳氢化合物干扰检漏本底。某空调两器生产线使用后，检漏节拍缩短约20%，氦气回收率超过95%。我们在泵前配置过滤和干燥，控制支持多工位自动程序。

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