德国真空泵在蓝宝石长晶中稳定吗？

深圳市滨海真空技术有限公司2026-07-12

蓝宝石晶体生长炉需在真空或低压氩气中连续运行数十至上百小时。滨海真空为长晶炉配套的德国贝克罗茨螺杆机组，以干式螺杆泵为前级，长期运行真空度稳定，无油污染风险。我们在德国真空泵入口设置氧化铝粉尘过滤和隔热挡板，保护泵体。某蓝宝石衬底厂使用后，晶体气泡和裂纹缺陷减少，A级品率提升约8%。该德国真空泵已在国内多个蓝宝石生产基地使用，满足长周期连续运行的可靠性要求。

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