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半导体工艺中，氧含量高会导致薄膜出现什么缺陷？

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上海高传电子科技有限公司2026-06-07

答：半导体工艺中，氧含量高会导致薄膜出现针、孔、附着力差或电学参数漂移。

本回答由 上海高传电子科技有限公司 提供

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