半导体氧化退火炉的 “热预算” 指什么？如何优化？

赛瑞达智能电子装备（无锡）有限公司2025-06-17

热预算是指硅片在退火过程中吸收的总热量（温度 × 时间）。优化热预算可减少杂质扩散、抑制氧化层生长，例如先进制程中采用 “尖峰退火”（Spike Anneal），在 1100℃下保温 5 秒，热预算为传统退火的 1/10。

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简介：赛瑞达成立于2021年，专注于半导体设备的研发、生产与销售。公司位于无锡，致力于提供定制化解决方案。

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