干式螺杆真空泵和罗茨泵怎么搭配？

深圳市滨海真空技术有限公司2026-07-19

在中高真空机组中，干式螺杆泵常作为罗茨泵的前级泵。滨海真空根据客户目标真空度和抽速，配置罗茨泵与干式螺杆泵的组合。螺杆泵先将系统从大气压抽至罗茨泵可启动的压力，再由罗茨泵接力抽至更高真空。这种搭配在全无油系统中广泛应用，如光学镀膜、电子束焊和空间模拟。螺杆泵的抽速与罗茨泵合理匹配，避免罗茨泵过热或过载。整套机组由滨海真空完成管路连接和控制集成，以撬装形式交付，即装即用。

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