干式螺杆真空泵在蓝宝石长晶中稳定吗？

深圳市滨海真空技术有限公司2026-07-19

蓝宝石晶体生长炉需在真空或低压氩气下连续运行数十至上百小时。滨海真空为蓝宝石长晶炉配套的干式螺杆泵加罗茨泵机组，极限真空优于10⁻² Pa，长期运行真空度稳定，无油污染风险。我们在泵入口设置氧化铝粉尘过滤和隔热挡板，保护泵组。某蓝宝石衬底厂使用滨海真空方案后，晶体气泡和裂纹缺陷减少，A级品率提升约8%。该泵组已在国内多个蓝宝石生产基地使用，满足长时间连续运行的可靠性要求。

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