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超构透镜柱高误差如何影响相位调制范围?

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江苏优众微纳半导体科技有限公司2026-09-01

超构透镜纳米柱高度误差±5nm会导致相位误差约λ/50(@633nm),聚焦效率降低3-5%,需将高度均匀性控制在±3nm以内。

江苏优众微纳半导体科技有限公司
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简介:江苏优众微纳半导体科技有限公司专注于纳米压印技术,提供半导体微纳器件解决方案。
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