广东深圳智能化真空机

真空机中真空处理设备技术方案【产品定位】

本设备是针对盲孔类工件电镀及前处理工艺研发的专业真空处理系统，适用于半导体、精密电子、航空航天等领域的复杂结构工件处理。

【功能】

1.真空置换系统：采用旋片式真空泵组，可在60秒内将工作腔压力降至10mbar以下，通过动态真空置换技术实现盲孔内空气的高效抽离

2.智能补液系统：配备流量闭环控制系统，可根据工件孔径自动调节药液填充速率，确保微孔填充率≥99.8%

3.工艺可视化：配置5.7英寸工业级触控屏，实时显示真空度、液位高度、处理时间等关键参数

【技术优势】

1.采用304不锈钢内胆+高硼硅玻璃视窗组合，耐酸碱腐蚀且便于观察

2.可调式硅橡胶密封条配合气压补偿装置，确保真空度稳定维持在±0.5mbar

3.模块化设计支持单工位/双工位/多工位扩展，处理效率提升40%以上

【应用价值】

通过建立可控的负压环境，有效解决盲孔类工件因气穴导致的漏镀、膜厚不均等问题，使镀层均匀性提升至±5μm以内，降低不良品率。设备符合ISO9001质量管理体系及CE安全认证，已成功应用于100+客户的量产线，平均提升良品率25%，降低生产成本18%。 真空除油技术与激光清洗协同应用，可高效去除盲孔内顽固碳化物及氧化物残留。广东深圳智能化真空机

盲孔产品电镀前处理的负压技术的应用领域

多行业应用场景在汽车电子领域，负压技术用于IGBT模块散热孔的深度清洁，提升了模块的热循环寿命。医疗器械行业则将其应用于介入导管的内壁处理，确保生物相容性符合ISO10993标准。精密模具制造中，该技术可有效注塑过程中产生的脱模剂残留，延长模具使用寿命。环保节能优势分析与传统化学清洗工艺相比，负压处理技术可减少90%以上的水资源消耗和化学试剂使用。某光学元件厂商数据显示，采用该技术后单批次能耗降低65%，VOC排放量趋近于零。其模块化设计还支持设备快速改装，适应不同规格产品的柔性生产需求。 河北真空机作用创新真空破泡技术，消除清洗液中微气泡对微孔清洁效果的影响。

真空机负压技术的跨行业应用的技术延伸

除传统制造领域外，负压技术已拓展至生物芯片制造（实现3μm细胞培养孔的精细加工）、航空航天密封件（提升O型圈沟槽的表面光洁度）、新能源电池（优化电极微孔的电解液渗透效率）等新兴领域，形成多技术融合的创新生态。

标准化体系的构建进程

国际标准化组织（ISO）正在制定《真空辅助精密加工技术规范》，涵盖设备性能参数、工艺控制指标等12项标准。我国已建立首条负压加工认证生产线，关键指标达到SEMI标准GEM300-0920要求，为产业国际化奠定基础。

志成达研发的真空机，采用现代负压加工智能控制系统

现代负压加工系统采用多参数闭环控制，通过压力传感器（精度0.01kPa）、振动监测仪（分辨率0.1μm）等设备，实时调整进给速率和真空度。某汽车零部件厂商应用案例显示，系统响应时间缩短至15ms，良品率从82%提升至96%，单台设备年产能增加30万件。特殊材料的加工适应性针对钛合金、碳纤维复合材料等难加工材料，负压技术通过调控气流温度（-50℃~+200℃）和湿度（5%~80%RH），实现了材料去除率提升60%。在航天发动机喷嘴制造中，该技术成功实现了Inconel718合金0.1mm微孔的无缺陷加工。 省水省电省人工，1 机顶 5 个工人效率！

真空机盲孔结构的精密制造困境

盲孔作为机械结构中常见的特征，其深径比通常超过5:1，在微型化趋势下甚至可达20:1。这种封闭腔体设计在航空航天涡轮叶片、半导体封装基板、精密液压阀体等领域广泛应用，但传统加工手段存在三大痛点：

一是电火花加工后残留的碳化物难以，

二是超声清洗在深孔底部形成清洗盲区，

三是化学蚀刻后残留的酸液会引发电化学腐蚀。某航天发动机制造商检测数据显示，未经深度处理的盲孔在500小时盐雾测试后，孔底锈蚀率高达43%，直接影响产品寿命。 真空除油设备通过降低环境气压，加速溶剂蒸发提升干燥效率 50%。MEMS器件真空机使用方法

可定制化真空除油方案，支持从实验室级小型设备到全自动生产线的全系列覆盖。广东深圳智能化真空机

真空机中盲孔产品电镀前处理

是确保镀层和盲孔内壁之间具有良好附着力，以及让镀层均匀覆盖的关键环节。特殊处理（针对深盲孔或复杂结构）有两种：

1.高压冲洗：使用高压水枪（压力建议大于5MPa）对盲孔进行冲洗，这样可以有效孔内残留的颗粒或者气泡。

2.真空处理：将盲孔产品放入真空环境中，抽去孔内的空气，然后再进行液体浸泡，这样能提高处理溶液的渗透效果。过降低环境气压（形成真空状态），利用物理和化学作用协同提升表面清洁度和镀层附着力 广东深圳智能化真空机