珠海两机水导激光加工加工样品展示

在半导体制造的后道封装环节，晶圆的划片切割直接影响芯片的成品率和封装成本。随着芯片制程不断微缩、晶圆尺寸不断增大，对划片精度的要求已提升至亚微米级，对切割损伤的控制则近乎零容忍。中科煜宸水导激光加工技术凭借其无热损伤、无机械应力、切割线宽细的优势，成为高精尖晶圆划片的理想选择。中科煜宸在单晶硅水导激光加工方面拥有“双重支撑技术”、“柔性介质耦合技术”等关键技术，确保了中科煜宸水导激光在晶圆划片中的优异表现。加工后的晶圆切割边缘光滑无崩边、无微裂纹、无热影响区，芯片良率明显提升。无论是硅晶圆、碳化硅晶圆还是砷化镓晶圆，中科煜宸水导激光都能实现高质量、高效率的划片切割。中科煜宸水导激光在 5G 基站滤波器与天线零件加工中，可实现高精度、低损耗、高一致性的批量生产能力。珠海两机水导激光加工加工样品展示

金刚石作为自然界超硬的材料，其精密加工一直是行业难题。中科煜宸开发的“水导激光加工金刚石盲槽工艺”，通过多角度补偿技术实现了金刚石盲槽的高质量加工。该工艺不 能优化激光入射角，减少散射效应，提升槽壁光滑度，还可避免因为单一方向加工引发的周期性纹路与缺陷。动态角度调整使激光焦点与材料表面始终匹配，有效减轻深度增加导致的能量衰减问题，确保深槽底部均匀加工。同时，多角度加工改善热分布，降低热堆积对材料性能的影响，并优化水导流场，增强加工稳定性。采用中科煜宸水导激光多角度补偿工艺加工的金刚石盲槽，槽壁光滑、无微裂纹、深径比高，完全满足精密模具和刀具的应用要求。上海航天领域水导激光加工技术原理与优势中科煜宸水导激光加工后工件表面粗糙度可达 Ra0.2 以下，多数工况可直接装配使用，无需后续抛光处理。

航空发动机的薄壁机匣和火焰筒等薄壁结构件对热输入极为敏感，微小的热变形就可能导致装配失败或服役故障。中科煜宸水导激光技术以其近乎无热影响的独特优势，能够在不产生任何热变形的前提下，对薄壁件进行精密切割、开窗或钻孔。加工过程中水射流的持续冷却作用如同一道“热屏障”，彻底消除了工件翘曲风险。这使得复杂薄壁结构的精密制造成为可能，大幅提升了发动机部件的制造精度与良品率，有力支撑了先进航空动力的自主研发与制造，缩短了发动机的研制周期。

钨、钼、钽、铌等稀有金属合金材料具有熔点高、硬度大的特点，在航空航天、电子信息、医疗等领域有着不可替代的应用，但其加工难度极大。传统机械加工工具损耗严重、效率低下；普通激光加工则因热积累严重导致材料氧化、变形。中科煜宸水导激光加工技术为这些难加工材料提供了理想的解决方案。水射流的持续冷却有效抑制了热积累，防止了材料氧化；激光能量的高效去除保证了加工效率。无论是钨合金的精密打孔，还是钽板的异形切割，中科煜宸水导激光都能够轻松应对。中科煜宸400W大功率水导激光设备能够切割更厚的难熔材料，满足大厚度工件的加工要求。中科煜宸水导激光技术正在帮助更多企业攻克稀有金属精密加工的技术难关。中科煜宸水导激光可为客户提供专属工艺团队全程跟进，从样品试制到量产交付，确保技术方案高效落地见效。

商业航天对制造成本和交付周期极为敏感，传统航天制造工艺难以兼顾高性能与低成本。中科煜宸水导激光以其普遍的材料适应性和高效率的加工能力，成为商业火箭和卫星制造的理想选择。无论是火箭发动机推力室的再生冷却通道精密加工，还是卫星结构件的轻量化开孔，该技术都能以更快的速度、更低的废品率完成。其无热影响的特性保证了关键部件在太空极端环境下的可靠性，同时明显降低了单件制造成本，助力商业航天企业实现快速迭代和大规模星座部署的宏伟目标。在医疗精密加工领域，中科煜宸水导激光可制造血管支架、微创针头与手术刀，表面无毛刺、无热变质层。重庆无热影响水导激光加工研究进展

中科煜宸水导激光加工时水流同步冷却冲刷，切口无毛刺挂渣，省去后道打磨工序。珠海两机水导激光加工加工样品展示

加工表面质量是衡量水导激光工艺水平的关键指标。中科煜宸开发的“水导激光加工表面质量改善工艺”，通过创新的加工路径规划大幅提升了表面质量。该工艺采用分段加工、交错路径或螺旋轨迹分散热量输入，有效减少单一区域的热积累；同时加快熔渣冷却并便于去除，避开界面或应力集中区域降低热应力集中，减少裂纹形成的风险。使用错位加工或多方向交替路径则可减小局部热梯度的积累，通过动态冷却有效降低表面温度梯度，抑制裂纹的萌生与扩展。中科煜宸水导激光表面质量改善工艺的应用，使得加工件表面光洁度达到新高度，大幅减少了后续处理工序，为客户节省了时间和成本。珠海两机水导激光加工加工样品展示

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