南京无热影响水导激光加工研究进展

薄板材料的水导激光加工面临着变形控制和水流干扰的双重挑战。中科煜宸开发的“用于薄板材料的水导激光加工系统”，通过优化支撑设计和水流控制实现了薄板材料的高精度加工。该系统采用阵列多孔支撑薄板从底部贴合待加工薄板，形成一体支撑结构有效抑制变形；同时通过精密设计的排水装置准确控制水流的方向和强度，减少水流对薄板的干扰，改善冷却效果和激光传输方式。采用中科煜宸水导激光薄板加工系统，可以有效抑制薄板材料的变形和位移，提高加工精度、稳定性和表面质量。这一技术突破使得厚度 有0.1mm的金属箔片、半导体晶圆等薄板材料的水导激光加工成为可能，为精密电子、医疗器械等领域的微细加工提供了可靠方案。面对高反射有色金属，该技术通过水流辅助改善能量耦合，实现稳定高效的精细加工，克服传统激光加工难点。南京无热影响水导激光加工研究进展

中科煜宸的“五轴联动水导激光加工设备”在2024年中国激光星锐奖评选中脱颖而出，荣获“激光智能装备技术创新奖”。该奖项由湖北省光学学会、激光之家联合多家国家激光产业联盟共同主办，在激光行业内具有极大的影响力。中科煜宸水导激光加工技术的创新突破，对实现国产高精尖精密装备替代具有重要意义。RJ505-400W水导激光加工机床作为大功率水导激光设备，在激光加工技术领域具有重大的突破性意义。此次获奖不 是对中科煜宸技术实力、创新能力和市场影响力的充分肯定，也是对公司长期以来聚焦激光智能制造领域、坚持创新驱动发展战略的认可。水辅助激光水导激光加工加工样品展示秉持“国际先进品质，本土高效服务”的理念，中科煜宸让国内企业能以更优成本获得精密加工能力。

单晶硅作为一种典型的脆硬材料，在水导激光加工过程中面临着崩边、裂纹等严峻挑战。中科煜宸创新研发的“基于双重支撑的单晶硅水导激光加工系统”，通过巧妙的结构设计解决了这一行业难题。该系统采用高透光性玻璃作为底部支撑材料，从底部方向贴合到单晶硅片，与单晶硅片形成一体并支撑单晶硅片；同时通过上下夹具进行夹持固定，在夹具与单晶硅片的接触面加装弹性垫片进行缓冲和防护。这种双重支撑结构既提供了有效的机械支撑，又使得加工过程中的激光能够透过玻璃逸散，防止激光反射对单晶硅造成损伤。采用中科煜宸水导激光双重支撑技术加工的单晶硅片，边缘崩边和裂纹明显减少，成品表面质量大幅提升。

传统水导激光技术曾长期受限于功率不足的问题，加工效率难以满足规模化生产需求。中科煜宸凭借深厚的技术积累，400W大功率水导激光加工机床RJ505，实现了水导激光技术的历史性突破。高功率激光能够在单位时间内提供更高的能量密度，使得切割速度明显提升，特别适用于批量生产和较厚材料的加工。与低功率系统相比，大功率水导激光在局部加热和迅速冷却方面表现更优，减少了热影响区的扩展，降低了后续修整的需求。同时，稳定的水射流支持长时间连续加工，适合大规模加工任务。这一技术突破使中科煜宸水导激光的加工效率提升了数倍，真正将水导激光从实验室技术推向了工业化应用的新阶段。水导激光绿色加工零污染，材料利用率提升至95%以上契合双碳发展目标。

中科煜宸积极构建开放协同的创新生态体系，与高校、科研院所及产业链上下游企业建立了紧密的合作关系。公司通过共建联合实验室、技术研发中心等方式，推动水导激光前沿技术的快速转化与应用。同时，中科煜宸还与武汉华中数控股份有限公司签署战略合作协议，共同推进增减材复合加工装备在教育市场和更普遍领域的产业化应用。中国工程院院士周济亲临中科煜宸展位指导，并见证了双方战略合作的正式签署。这种产学研深度融合的创新模式，不 加速了水导激光技术的迭代升级，也为我国激光智能制造领域培养了大批专业人才，为行业的长远发展注入了源源不断的动力。火箭发动机喷管冷却通道精准打孔，水导激光保障航天发射安全。苏州3C水导激光加工在医疗微加工的应用

投资水导激光虽有一定门槛，但其带来的高产品附加值、高良率及节省的二次加工成本，综合投资回报率高。南京无热影响水导激光加工研究进展

在半导体制造的后道封装环节，晶圆的划片切割直接影响芯片的成品率和封装成本。随着芯片制程不断微缩、晶圆尺寸不断增大，对划片精度的要求已提升至亚微米级，对切割损伤的控制则近乎零容忍。中科煜宸水导激光加工技术凭借其无热损伤、无机械应力、切割线宽细的优势，成为高精尖晶圆划片的理想选择。中科煜宸在单晶硅水导激光加工方面拥有“双重支撑技术”、“柔性介质耦合技术”等关键技术，确保了中科煜宸水导激光在晶圆划片中的优异表现。加工后的晶圆切割边缘光滑无崩边、无微裂纹、无热影响区，芯片良率明显提升。无论是硅晶圆、碳化硅晶圆还是砷化镓晶圆，中科煜宸水导激光都能实现高质量、高效率的划片切割。南京无热影响水导激光加工研究进展

南京中科煜宸激光技术有限公司在同行业领域中，一直处在一个不断锐意进取，不断制造创新的市场高度，多年以来致力于发展富有创新价值理念的产品标准，在江苏省等地区的机械及行业设备中始终保持良好的商业口碑，成绩让我们喜悦，但不会让我们止步，残酷的市场磨炼了我们坚强不屈的意志，和谐温馨的工作环境，富有营养的公司土壤滋养着我们不断开拓创新，勇于进取的无限潜力，南京中科煜宸激光技术供应携手大家一起走向共同辉煌的未来，回首过去，我们不会因为取得了一点点成绩而沾沾自喜，相反的是面对竞争越来越激烈的市场氛围，我们更要明确自己的不足，做好迎接新挑战的准备，要不畏困难，激流勇进，以一个更崭新的精神面貌迎接大家，共同走向辉煌回来！