北京小负载光学检测品牌

航空航天领域的光学检测对设备的可靠性和精度有着极为严苛的要求。航空发动机叶片形貌检测、飞机蒙皮缺陷检测、光学卫星镜头装调检测、航天元件表面质量检测等场景，不只需要较高的检测精度，还要求检测设备具备极强的环境适应性和可靠性。这类检测场景中，运动平台需要具备高刚性、高稳定性，能够在车间环境甚至现场环境下保持高精度，同时还要支持大尺寸、大重量工件的检测。博源精控的重载型直驱运动平台采用高刚性机械结构设计，负载能力可达上百公斤，依然保持微米级的定位精度，配合隔振系统，能够满足航空航天领域大尺寸精密元件的光学检测需求，为航空航天制造的质量控制提供可靠支撑。平板显示AOI检测可发现面板像素级Mura缺陷，提升显示面板出厂良品率。北京小负载光学检测品牌

在晶圆光学检测中，晶圆的预对准是检测前的必要步骤，晶圆在传输到检测平台后位置会存在偏差，需要通过边缘检测或者缺口检测确定晶圆的中心位置和角度偏差，然后控制运动平台进行位置补偿，将晶圆准确移动到检测坐标系下。晶圆预对准对运动平台的定位精度和旋转台的角度精度要求很高，需要多轴配合完成位置和角度的校正。博源精控的晶圆检测用运动平台集成了XY高精度平移台和高精度旋转台，能够配合预对准传感器快速完成晶圆的中心和角度校正，校正精度可达亚微米级和角秒级，保证后续整片晶圆扫描检测的位置准确性，支撑半导体晶圆制造过程中的高精度光学检测。东莞微型光学检测价格直线电机直驱位移台取消中间传动环节，运动响应速度快，可满足光学检测高速扫描需求。

平板显示行业是光学检测技术的重要应用领域，随着显示技术从LCD向OLED、Mini/Micro LED不断升级，对检测精度和检测速度的要求也在不断提升。平板显示面板的尺寸越来越大，从早期的几代线发展到现在的10.5代线，玻璃基板尺寸达到3米级别，同时像素密度越来越高，缺陷尺寸越来越小，需要大行程、高精度、高速度的运动平台来带动检测相机完成各个方面板的扫描检测。龙门式运动系统凭借大行程、高刚性、高负载的特点，成为大尺寸面板检测的常用运动方案。博源精控的大理石XY直线电机平移台采用高精度花岗岩基座，直线电机直驱，大行程下依然能够保持微米级的定位精度，高速度运行时平稳无振动，能够满足大尺寸液晶面板、OLED面板的Array、Cell、Module全制程的光学检测需求。

线扫描成像技术是大尺寸、高吞吐量光学检测的主流成像方案，相比于面阵相机，线阵相机能够实现更高的分辨率和更快的扫描速度，通过匀速运动逐行扫描拼接得到完整的大尺寸图像。线扫描成像对运动速度的稳定性要求较高，速度波动会导致图像被拉伸或者压缩，产生几何畸变，影响检测和测量精度。博源精控的直驱运动系统采用高精度速度控制算法，配合高分辨率光栅尺的实时反馈，匀速运动时的速度波动可以控制在0.05%以内，即使在高速扫描状态下也能保持良好的速度稳定性，保证线阵相机扫描得到的图像几何精度，良好适配各类大幅面高速光学检测场景，比如PCB检测、面板检测、薄膜检测、纺织物检测等。主动隔振系统可实时抵消环境振动干扰，进一步提升超精密光学检测的测量精度。

光学检测中的远心光学技术是实现高精度尺寸测量的关键，普通镜头存在视应性畸变，不同工作距离下的放大倍率不同，会导致尺寸测量误差，而远心镜头通过特殊的光学设计，能够在一定景深范围内保持放大倍率恒定，消除视应性误差，实现高精度的尺寸测量。远心光学系统通常景深较小，对Z轴方向的定位精度要求较高，同时大视场远心镜头重量较大，对运动平台的负载能力和刚性也有较高要求。博源精控的高刚性直驱平移台负载能力强，运动刚性好，搭载大重量远心镜头时不会发生变形，运动过程中镜头姿态稳定，配合高精度Z轴升降台，能够保证远心光学系统始终处于较佳工作距离，实现微米级的高精度尺寸测量。文物高光谱扫描平台运动平稳无冲击，可在不接触文物的前提下完成数字化采集。东莞微型光学检测价格

光学检测可测量工件二维尺寸、形位公差，测量重复性好，数据可追溯性强。北京小负载光学检测品牌

气浮导轨技术在超精密光学检测领域具备具备较高应用价值的优势。对于检测分辨率达到亚微米甚至纳米级的超精密光学检测场景，机械接触式导轨存在的摩擦、磨损、间隙等问题会直接影响检测精度，而气浮导轨通过压缩空气在运动面与导轨面之间形成几微米厚的气膜，实现完全无接触的运动支撑，完全消除了机械摩擦和磨损，运动平稳性和定位精度都达到了较高水平。博源精控的直驱气浮滑台系列采用高精度花岗岩气浮导轨，直线度误差控制在亚微米级，运动过程中无任何机械接触，具备较高的运动平稳性和定位精度，特别适用于激光干涉测量、超精密光学元件表面检测、半导体光刻对准等对运动精度要求较高的光学检测场景。北京小负载光学检测品牌

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