四川高精度组合光学检测供应商

平板显示行业是光学检测技术的重要应用领域，随着显示技术从LCD向OLED、Mini/Micro LED不断升级，对检测精度和检测速度的要求也在不断提升。平板显示面板的尺寸越来越大，从早期的几代线发展到现在的10.5代线，玻璃基板尺寸达到3米级别，同时像素密度越来越高，缺陷尺寸越来越小，需要大行程、高精度、高速度的运动平台来带动检测相机完成各个方面板的扫描检测。龙门式运动系统凭借大行程、高刚性、高负载的特点，成为大尺寸面板检测的常用运动方案。博源精控的大理石XY直线电机平移台采用高精度花岗岩基座，直线电机直驱，大行程下依然能够保持微米级的定位精度，高速度运行时平稳无振动，能够满足大尺寸液晶面板、OLED面板的Array、Cell、Module全制程的光学检测需求。平板显示AOI检测可发现面板像素级Mura缺陷，提升显示面板出厂良品率。四川高精度组合光学检测供应商

半导体行业是光学检测技术应用较前沿、要求较高的领域之一。从晶圆制造过程中的光刻对准、薄膜厚度测量、缺陷检测，到封装环节的引脚检测、键合质量检测、芯片外观检测，几乎每一个生产环节都离不开高精度光学检测技术。随着半导体工艺节点不断推进，对检测精度的要求也从微米级提升到纳米级，这对检测系统中的运动平台提出了较高的要求，不只需要纳米级的定位精度，还需要具备较高的运动平稳性和洁净度适配能力。博源精控的直驱气浮滑台系列采用无接触气浮导轨设计，运行过程中无粉尘产生，良好适配半导体制造的洁净室环境，纳米级的定位精度能够满足先进制程晶圆检测的需求，已经为多家半导体检测设备厂商提供了关键运动平台解决方案。成都气浮直流光学检测品牌高精度光栅尺全闭环反馈，可消除传动误差，提升光学检测运动平台的定位精度。

大行程高精度运动平台是大尺寸光学检测的关键难点，随着检测对象尺寸不断增大，比如10.5代面板、大尺寸光伏组件、飞机蒙皮等，检测行程达到数米，在这么大的行程下保持微米级的定位精度是非常大的挑战，因为长行程下导轨的直线度误差、基座的变形、温度变形都会被放大。博源精控的大行程大理石直线电机平台采用高精度花岗岩作为基座，花岗岩具备良好的稳定性、温度稳定性和阻尼特性，经过精密研磨加工，导轨面直线度达到微米级，配合多读数头光栅尺和误差补偿算法，能够在数米行程下实现微米级的定位精度，满足大尺寸对象的高精度光学检测需求。

在线光学检测是现代智能制造生产线的关键组成部分，与实验室离线检测不同，在线检测需要与生产线节拍完全匹配，24小时连续稳定运行，对设备的可靠性、稳定性、维护性提出了较高要求。在线检测的运动平台需要具备较高的平均无故障时间，能够在工业车间的恶劣环境下长期稳定运行，同时还要具备快速维护、快速更换的设计。博源精控的工业级直驱运动平台采用高可靠性设计，关键部件均选用工业级长寿命产品，IP防护等级可根据需求定制，能够适应车间的粉尘、油污、温湿度变化等环境，7×24小时连续运行稳定可靠，已经在多条新能源、3C、汽车制造产线的在线检测工位得到了批量应用。PCB板光学检测可识别线路开路、短路、偏移等问题，保障电路板生产质量。

在晶圆光学检测中，晶圆的预对准是检测前的必要步骤，晶圆在传输到检测平台后位置会存在偏差，需要通过边缘检测或者缺口检测确定晶圆的中心位置和角度偏差，然后控制运动平台进行位置补偿，将晶圆准确移动到检测坐标系下。晶圆预对准对运动平台的定位精度和旋转台的角度精度要求很高，需要多轴配合完成位置和角度的校正。博源精控的晶圆检测用运动平台集成了XY高精度平移台和高精度旋转台，能够配合预对准传感器快速完成晶圆的中心和角度校正，校正精度可达亚微米级和角秒级，保证后续整片晶圆扫描检测的位置准确性，支撑半导体晶圆制造过程中的高精度光学检测。大理石基座平台阻尼特性好，可吸收运动振动，保证光学系统成像稳定不模糊。成都气浮直流光学检测品牌

精密运动平台重复定位精度高，多次检测结果一致性好，保证检测数据稳定可靠。四川高精度组合光学检测供应商

光谱检测技术通过分析物质与光相互作用产生的光谱特征，实现物质成分、浓度、厚度等参数的测量，广应用于环境监测、食品安全、生物医药、半导体制造等领域。光谱检测系统通常需要高精度的位移台来实现样本的扫描、波长选择机构的调整、光路的对准等功能，尤其是在高光谱成像检测中，需要推动相机或者样本完成推扫运动，对运动的速度稳定性要求较高。博源精控的高精度电动位移台运动速度稳定，定位精度高，能够保证高光谱推扫过程中每一行图像的位置准确性，避免光谱图像出现几何畸变，同时精确的波长调整机构能够保证光谱分辨率，为各类光谱检测系统提供可靠的运动保障。四川高精度组合光学检测供应商

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