新能源行业的快速发展也为光学检测技术带来了广阔的应用空间。锂电池生产过程中的极片涂布缺陷检测、电芯外观检测、焊缝检测、光伏电池片的缺陷检测、EL检测、PL检测,氢燃料电池双极板检测等场景,都需要大量的自动化光学检测设备。新能源行业的检测通常具备检测幅宽大、检测速度快、检测精度要求适中但节拍要求高的特点,需要高速度、高稳定性的运动平台来支撑高速在线检测。博源精控的长行程直线电机滑台较高运动速度可达2m/s,加速度可达1g,配合高响应的伺服控制系统,能够实现高速启停和匀速扫描,满足新能源产线高速在线检测的节拍要求,同时长行程设计可覆盖宽幅极片、大尺寸光伏组件的全幅检测需求。光学镜头装调检测平台可实现镜头多自由度调整,辅助完成镜头精密装调工作。四川二维光学检测制造商

高低温环境下的光学检测是材料研究、航天元件检测、特殊环境性能测试中的常见需求,需要在高低温试验箱中对材料和元件进行光学性能检测和形貌测量。高低温环境下,材料会发生热胀冷缩,普通位移台的精度会因为温度变化而大幅下降,同时普通的润滑脂、电子元件也无法在极端温度下工作。博源精控可定制高低温环境用的运动平台,采用低膨胀系数的材料作为基座,选用耐高低温的传感器、电机和润滑材料,通过特殊的结构设计补偿温度变形,能够在-60℃到150℃的温度范围内保持稳定的运动精度,支撑高低温环境下的光学检测实验和产品测试。四川二维光学检测制造商精密轴承光学检测配合高速旋转主轴,可完成圆柱面全表面缺陷扫描检测。

航空航天领域的光学检测对设备的可靠性和精度有着极为严苛的要求。航空发动机叶片形貌检测、飞机蒙皮缺陷检测、光学卫星镜头装调检测、航天元件表面质量检测等场景,不只需要较高的检测精度,还要求检测设备具备极强的环境适应性和可靠性。这类检测场景中,运动平台需要具备高刚性、高稳定性,能够在车间环境甚至现场环境下保持高精度,同时还要支持大尺寸、大重量工件的检测。博源精控的重载型直驱运动平台采用高刚性机械结构设计,负载能力可达上百公斤,依然保持微米级的定位精度,配合隔振系统,能够满足航空航天领域大尺寸精密元件的光学检测需求,为航空航天制造的质量控制提供可靠支撑。
半导体行业是光学检测技术应用较前沿、要求较高的领域之一。从晶圆制造过程中的光刻对准、薄膜厚度测量、缺陷检测,到封装环节的引脚检测、键合质量检测、芯片外观检测,几乎每一个生产环节都离不开高精度光学检测技术。随着半导体工艺节点不断推进,对检测精度的要求也从微米级提升到纳米级,这对检测系统中的运动平台提出了较高的要求,不只需要纳米级的定位精度,还需要具备较高的运动平稳性和洁净度适配能力。博源精控的直驱气浮滑台系列采用无接触气浮导轨设计,运行过程中无粉尘产生,良好适配半导体制造的洁净室环境,纳米级的定位精度能够满足先进制程晶圆检测的需求,已经为多家半导体检测设备厂商提供了关键运动平台解决方案。气浮导轨运动平台无机械摩擦,运动平稳性好,适合超精密光学检测场景使用。

在晶圆光学检测中,晶圆的预对准是检测前的必要步骤,晶圆在传输到检测平台后位置会存在偏差,需要通过边缘检测或者缺口检测确定晶圆的中心位置和角度偏差,然后控制运动平台进行位置补偿,将晶圆准确移动到检测坐标系下。晶圆预对准对运动平台的定位精度和旋转台的角度精度要求很高,需要多轴配合完成位置和角度的校正。博源精控的晶圆检测用运动平台集成了XY高精度平移台和高精度旋转台,能够配合预对准传感器快速完成晶圆的中心和角度校正,校正精度可达亚微米级和角秒级,保证后续整片晶圆扫描检测的位置准确性,支撑半导体晶圆制造过程中的高精度光学检测。非标定制运动方案可根据客户检测需求设计,适配特殊行程、负载与安装空间要求。四川二维光学检测制造商
大行程花岗岩运动平台稳定性好,可满足大尺寸面板、光伏组件的检测行程需求。四川二维光学检测制造商
3D光学检测技术正在成为光学检测行业的增长热点,传统2D光学检测只能获取平面图像信息,无法检测高度方向的缺陷和尺寸,而3D光学检测能够获取被检测对象的三维形貌信息,实现平面度检测、高度差检测、体积测量、3D缺陷检测等2D检测无法完成的功能。目前主流的3D光学检测技术包括激光三角法、结构光投影法、光度立体法、干涉法等,这些技术都需要高精度的运动平台配合完成扫描或者多视角成像。博源精控的多轴运动系统能够支持各类3D检测方案的运动需求,无论是线激光扫描的匀速运动,还是结构光检测的多姿态调整,都能提供高精度、高稳定性的运动支撑,帮助客户实现高精度3D光学检测。四川二维光学检测制造商
博源精控(四川)科技有限责任公司汇集了大量的优秀人才,集企业奇思,创经济奇迹,一群有梦想有朝气的团队不断在前进的道路上开创新天地,绘画新蓝图,在四川省等地区的仪器仪表中始终保持良好的信誉,信奉着“争取每一个客户不容易,失去每一个用户很简单”的理念,市场是企业的方向,质量是企业的生命,在公司有效方针的领导下,全体上下,团结一致,共同进退,**协力把各方面工作做得更好,努力开创工作的新局面,公司的新高度,未来博源精控供应和您一起奔向更美好的未来,即使现在有一点小小的成绩,也不足以骄傲,过去的种种都已成为昨日我们只有总结经验,才能继续上路,让我们一起点燃新的希望,放飞新的梦想!