北京二维光学检测

光学检测设备的国产化替代是当前国内精密检测行业的重要发展趋势，过去先进光学检测设备和关键运动平台主要依赖进口，不只价格昂贵，交货周期长，而且售后服务响应慢，定制化能力差，制约了国内先进制造业的发展。近年来随着国内精密运动技术的不断进步，以博源精控为意味着的国内厂商已经掌握了直驱运动、气浮导轨、高精度运动控制等关键技术，产品性能已经达到甚至超过进口同类产品水平，而价格和服务具备明显优势。博源精控的各类精密运动平台产品已经成功替代多个进口品牌产品，应用于国内头部半导体、显示、新能源厂商的光学检测设备中，为国内光学检测设备的国产化替代提供了坚实的关键部件支撑。多相机并行检测可同时采集不同角度图像，一次完成工件多面检测，提升检测速度。北京二维光学检测

干涉测量作为光学检测领域精度较高的测量技术之一，能够实现纳米级甚至亚纳米级的测量精度，广应用于光学元件面形检测、精密位移校准、长度计量等场景。干涉测量对环境振动和空气扰动极为敏感，微小的振动就会导致干涉条纹模糊，无法进行稳定测量，因此不只需要高精度的隔振平台，还需要运动过程中极其平稳的调整机构。博源精控的隔振光学平台固有频率低于2Hz，能够有效隔离地面振动，配合高精度电动调整架，能够实现干涉仪光路的精确对准和被测件的精密调整，保证干涉测量的稳定性和准确性，为光学计量实验室、光学元件制造企业提供高精度的测量基础平台。多维非标定制光学检测制造厂家电动升降台可完成Z轴方向快速调焦，适配不同厚度工件的光学检测工作距离要求。

光学检测中的自动对焦技术是实现高精度检测的关键技术之一，尤其是在高倍率成像、大景深范围工件检测的场景中，手动对焦无法满足自动化检测的需求，需要高精度的自动对焦系统配合Z轴运动平台实现快速精确对焦。自动对焦通常采用激光测距对焦、图像对比度对焦或者相位对焦技术，实时检测离焦量，控制Z轴升降台快速移动到合焦位置。博源精控的高速直驱升降台响应速度快，定位精度高，能够配合自动对焦算法实现毫秒级的快速对焦，即使在工件高度存在较大动的情况下，也能保证每一次成像都处于较佳焦面，保证检测图像的清晰度，提升整个光学检测系统的检测稳定性和检测良率。

光学检测设备的小型化、集成化是近年来的发展趋势，传统的光学检测设备体积庞大，占用空间大，不利于集成到生产线和小型化设备中。这就要求关键运动平台在保证精度和性能的前提下，尽可能减小体积，实现紧凑化设计。博源精控推出的紧凑型直驱位移台系列，将直线电机、导轨、光栅尺、限位传感器高度集成，在极小的体积内实现了大行程、高精度的运动，体积比传统丝杆位移台更加紧凑，非常适合集成到小型化光学检测设备、桌面型检测仪器中，帮助客户实现检测设备的小型化、轻量化，降低设备占地面积，拓展光学检测技术的应用场景。文物高光谱扫描平台运动平稳无冲击，可在不接触文物的前提下完成数字化采集。

在显示面板的AOI自动光学检测中，Mura缺陷是检测的重点和难点，Mura缺陷是指面板显示亮度不均匀的缺陷，通常对比度很低，人眼难以识别但会影响显示效果。Mura检测对成像的均匀性和运动的稳定性要求较高，微小的振动或者速度波动都会导致亮度变化，产生类似Mura的伪缺陷，造成误检。博源精控的面板检测用龙门运动系统采用高刚性花岗岩结构，双直线电机同步驱动，运动过程平稳无振动，速度稳定性良好，配合高分辨率线阵相机，能够实现低对比度Mura缺陷的稳定检出，帮助面板厂商提升显示产品的出厂品质，降低不良品流出率。半导体晶圆光学检测可识别纳米级工艺缺陷，助力芯片制造过程的质量管控。北京二维光学检测

高精度光栅尺全闭环反馈，可消除传动误差，提升光学检测运动平台的定位精度。北京二维光学检测

机器视觉检测是光学检测领域应用较广的技术方向，在工业制造的各个环节都发挥着质量把关的重要作用。机器视觉检测通过工业相机采集被检测对象的图像，经过图像处理算法提取缺陷特征、尺寸信息、位置信息等，实现非接触式的自动化检测。在机器视觉检测系统中，精密运动平台负责带动被检测对象或者相机做匀速扫描运动，保证成像的清晰度和位置准确性，尤其是在线检测场景中，运动平台的速度稳定性直接决定了图像的畸变程度和检测精度。博源精控的各类直驱位移台、龙门运动系统具备良好的速度平稳性，匀速运动时的速度波动控制在0.1%以内，能够保证线阵相机扫描成像的几何精度，广应用于3C电子检测、印刷质量检测、薄膜表面缺陷检测、金属表面缺陷检测等各类机器视觉检测场景。北京二维光学检测

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