江苏微流控芯片之SAW器件

在微流控芯片定制加工方面，公司已建立完善的PDMS芯片标准化产线，以自研产品单分子系列PDMS芯片产线为基础，建立了完善的PDMS硅胶来料、PDMS芯片加工、PDMS成品质检、测试小试产线。涵盖硅胶来料处理、精密模具成型、成品质检等环节，可批量交付单分子级检测芯片、液滴生成芯片等产品。其微流控解决方案广泛应用于毛细导流模拟、高通量测序反应腔构建、地质勘探流体分析等多元化场景，彰显“MEMS+医疗”技术跨界融合的创新价值。通过工艺标准化与定制化能力的深度协同，正推动微纳加工技术从实验室原型向产业化应用的高效转化。微流控芯片的基本实现方式有：MEMS微纳米加工技术、光刻、飞秒激光直写、LIGA、注塑、刻蚀等等；江苏微流控芯片之SAW器件

微流控芯片的硅质材料加工工艺：是在硅材料的加工中，光刻(lithography)和湿法刻蚀(wetetching)技术是2种常规工艺。由于硅材料具有良好的光洁度和很成熟的加工工艺，主要用于加工微泵、微阀等液流驱动和控制器件，或者在热压法和模塑法中作为高分子聚合物材料加工的阳模。光刻是用光胶、掩模和紫外光进行微制造。光刻和湿法蚀刻技术通常由薄膜沉淀、光刻、刻蚀3个工序组成。在薄膜表面用甩胶机均匀地附上一层光胶。然后将掩模上的图像转移到光胶层上，此步骤首先在基片上覆盖一层薄膜，为光刻。再将光刻上的图像，转移到薄膜，并在基片上加工一定深度的微结构，此步骤完成了蚀刻。四川微流控芯片的生物传感器为什么微流控芯片对我们很重要？

单分子检测用PDMS芯片的超净加工与表面修饰：单分子检测对芯片表面洁净度与非特异性吸附控制要求极高，公司建立了万级洁净车间环境下的PDMS芯片超净加工流程。从硅模清洗（采用氧等离子体处理去除有机残留）到PDMS预聚体真空脱气（真空度<10Pa），每个环节均严格控制颗粒污染，确保芯片表面颗粒杂质<5μm的数量<5个/cm²。表面修饰采用硅烷化试剂（如APTES）与亲水性聚合物（如PEG）层层自组装，将蛋白吸附量降低至<1ng/cm²，满足单分子荧光成像对背景噪声的严苛要求。典型产品单分子免疫芯片可检测低至10pM浓度的生物标志物，较传统ELISA灵敏度提升100倍。公司还开发了芯片表面功能化定制服务，根据客户需求接枝抗体、DNA探针等生物分子，实现“即买即用”的检测芯片解决方案，加速单分子检测技术的临床转化。

玻璃基微流控芯片的精密刻蚀与键合工艺：玻璃因其高透光性、化学稳定性及表面平整性，成为光学检测类微流控芯片的理想材料。公司采用湿法刻蚀与干法刻蚀结合工艺，在玻璃基板上实现1-200μm深度的微流道加工，配合双面光刻对准技术，确保流道结构的三维高精度匹配。刻蚀后的玻璃芯片通过高温键合（300-450℃）或阳极键合实现密封，键合强度可达5MPa以上，耐受高压流体传输（如100kPa压力下无泄漏）。典型应用包括荧光显微成像芯片、拉曼光谱检测芯片，其光滑的玻璃表面可直接进行生物分子修饰，用于DNA杂交、蛋白质吸附等反应。公司在玻璃芯片加工中攻克了大尺寸基板（如4英寸晶圆）的均匀刻蚀难题，通过优化刻蚀液配比与等离子体参数，将流道深度误差控制在±2%以内，满足前端科研与工业检测对芯片一致性的严苛要求。微米级微流控芯片通过电镜观测确保结构精度，适用于液滴分散与单分子分析。

微流控芯片小批量生产的成本优化策略：针对研发阶段与中小批量订单需求，公司构建了“快速原型-工艺优化-小批量试产”的全流程成本控制体系。在快速原型阶段，采用3D打印硅模（成本较传统光刻降低60%）与手工键合，7个工作日内交付首版样品；工艺优化阶段通过DOE（实验设计）筛选比较好加工参数，将材料利用率提升至90%以上；小批量生产（100-10,000片）时，利用共享模具与标准化封装流程，较传统批量工艺降低40%的单芯片成本。例如，某科研团队定制的500片细胞分选芯片，通过该策略将单价控制在大规模量产的70%，同时保持±1%的流道尺寸精度。公司还提供阶梯式定价与工艺路线建议，帮助客户在保证性能的前提下实现成本比较好化，尤其适合初创企业与高校科研项目的器件开发需求。微流控芯片技术用于液体活检。新疆微流控芯片设备工程

利用微流控芯片对自身抗体检测。江苏微流控芯片之SAW器件

先前报道了微流控芯片的另一项采用体外细胞培养技术的研究，其中轴突和体细胞被物理分离，从而允许轴突通过微通道。借助这项技术，神经科学家可以研究轴突本身的特征，或者可以确定药物对轴突部分的作用，并可以分析轴突切断术后的轴突再生。值得一提的是，微通道可能会对组织或细胞产生剪切应力，从而导致细胞损伤。被困在微通道下的气泡可能会破坏流动特性，并可能导致细胞损伤。在设计此类3D生物芯片设备时，通常三明治设计，其中内皮细胞在上层生长，脑细胞在下层生长，由多孔膜分叉，该膜充当血脑屏障。江苏微流控芯片之SAW器件