青海微流控芯片节能规范

微流控芯片在石英和玻璃的加工中，常常利用不同化学方法对其表面改性，然后可以使用光刻和蚀刻技术将微通道等微结构加工在上面。玻璃材料的加工步骤与硅材料加工稍有差异，主要步骤有:1)在玻璃基片表面镀一层 Cr，再用甩胶机均匀的覆盖一层光刻胶；2)利用光刻掩模遮挡，用紫外光照射，光刻胶发生化学反应；3)用显影法去掉已曝光的光胶，用化学腐蚀的方法在铬层上腐蚀出与掩模上平面二维图形一致的图案；4)用适当的刻蚀剂在基片上刻蚀通道；5)刻蚀结束后，除去光刻胶，打孔后和玻璃盖片键合。标准光刻和湿法刻蚀需要昂贵的仪器和超净的工作环境，无法实现快速批量生产。可定制加工小批量 PDMS、硬质塑料、玻璃、硅片等材质的微流控芯片。青海微流控芯片节能规范

L-Series包括严格的机械平台，集成了显微镜技术、微定位和计量学等方法。可应用于芯片电场的微型电位计（Microport）也作为其开发的副产品。L-Series致力于真正的解决微流控设备开发者所遇到的难题：构造芯片系统和提供实用程序，Sartor说：“若是将衬质和芯片粘合在一起，需要经过长期的多次测试，”设计者若想改变流体通道，必须从头开始。L-Series检测组使内联测试和假设分析实验变得更简单，测试一个新设计只要交换芯片即可。当前，L-Series设备只能在手动模式下运行，一次一个芯片，但是Cascade 正在考虑开发可平行操作多个芯片的设备。贵州微流控芯片设备工程支持 0.5-5μm 微米级尺度微流控芯片加工，满足单分子检测等高精需求。

微流控芯片的原理：微流控芯片基于微流体力学原理，通过对微尺度通道内流体的操控，实现对微小流体的混合、分离、传输和操控。微流控芯片的操作通常通过控制微阀门、微泵等来调节流体的压力、流速和流量，从而实现对微流体的控制。

微流控芯片的分类：微流控芯片可以根据不同的应用领域和功能进行分类，常见的分类包括：生物传感芯片-用于生物医学研究、生物分析和生物检测等领域，如细胞培养芯片、DNA分析芯片等。化学芯片：用于化学分析、化学合成和药物筛选等领域，如微反应器芯片、分析芯片等。环境芯片：用于环境监测和污染物检测等领域，如水质监测芯片、气体传感器芯片等。

多元化材料微流控芯片定制加工技术解析：微流控芯片的材料选择直接影响其功能性与适用场景，Bloom-OriginSemiconductor提供基于PDMS软硅胶、硬质塑料、玻璃、硅片等多种材料的定制加工服务。其中，PDMS凭借良好的生物相容性、透光性及易加工性，成为生物检测与细胞培养的优先材料，可通过模塑成型实现复杂流道结构。硬质塑料如PMMA、COC等则具备耐化学腐蚀等的优势，适用于工业检测与POCT快速诊断设备。玻璃与硅片材料因高硬度、耐高温及表面惰性，常用于高精度微流道刻蚀与键合工艺，满足生化反应、测序等对表面特性要求严苛的场景。公司通过材料特性匹配加工工艺，从材料预处理到键合封装形成完整技术链条，确保不同材料芯片的性能稳定性与批量生产可行性，为客户提供从材料选型到功能实现的全流程解决方案。 完善 PDMS 芯片产线覆盖来料加工、生产、质检，支持高标准批量交付。

lab-on-chip 产生的应用目的是实现微全分析系统的目标－芯片实验室，目前工作发展的重点应用领域是生命科学领域。当前（2006）研究现状：创新多集中于分离、检测体系方面；对芯片上如何引入实际样品分析的诸多问题，如样品引入、换样、前处理等有关研究还十分薄弱。它的发展依赖于多学科交叉的发展。目前媒体普遍认为的生物芯片（micro-arrays），如，基因芯片、蛋白质芯片等只是微流量为零的点阵列型杂交芯片，功能非常有限，属于微流控芯片（micro-chip）的特殊类型，微流控芯片具有更广的类型、功能与用途，可以开发出生物计算机、基因与蛋白质测序、质谱和色谱等分析系统，成为系统生物学尤其系统遗传学的极为重要的技术基础。干湿结合刻蚀技术制备纳米级微针，可用于组织液提取与电化学检测器件。湖北微流控芯片之PI柔性器件

多样化微流控芯片加工案例覆盖数字 PCR、单分子检测、POCT 等多个领域。青海微流控芯片节能规范

硅片微流道加工在微纳器件中的应用拓展：硅片作为MEMS工艺的主流材料，在微流控芯片中兼具机械强度与加工精度优势。公司利用深硅刻蚀（DRIE）技术实现高深宽比（>20:1）微流道加工，深度可达500μm以上，适用于高压流体控制、微反应器等场景。硅片表面通过热氧化或氮化处理形成绝缘层，可集成微电极、压力传感器等功能单元，构建“芯片实验室”（Lab-on-a-Chip）系统。例如，在脑机接口柔性电极芯片中，硅基微流道与铂铱电极的集成设计，实现了神经信号记录与药物微灌注的同步功能，其生物相容性通过表面PEG涂层优化，可长期植入体内稳定工作。公司还开发了硅片与PDMS、玻璃的异质键合技术，解决了不同材料热膨胀系数差异导致的应力问题，推动硅基微流控芯片在生物医学、环境监测等领域的跨学科应用。青海微流控芯片节能规范