北京纸基微流控研发

小型化是微流控技术从实验室走向临床与现场应用的关键一步。传统微流控系统依赖外接泵阀与刚性管路维持流体控制，虽然能够实现多通道同步驱动与微量体积的精确操控，但其庞大的体积、较高的功耗以及机械刚性，使其难以与新兴的可穿戴及植入式设备兼容。面向可穿戴与即时检验（POCT）场景的微流控系统，对流体管理模块提出了更为严苛的要求：不但需要实现低功耗与微型化，还必须具备良好的生物相容性与集成能力。研究者已开发出多种适配柔性、小型化平台的新型流体驱动策略，涵盖基于界面润湿性差异的被动输运、基于可动结构的机械驱动、气体介导的压力驱动，以及基于电场的电动驱动等路径。这些策略从结构驱动走向场控驱动，旨在有限的空间与功耗预算内实现稳定、可编程的流体管理。然而，无论采用何种驱动方式，芯片微结构的高保真制造始终是决定器件性能与可靠性的基石。江苏优众微纳半导体科技有限公司依托自主纳米压印技术与覆盖光刻、刻蚀等环节的全流程半导体制程工艺，致力于将纳米级的精密加工能力注入小型化微流控芯片的制造环节，为高集成、高性能的便携式生物检测系统提供坚实的底层制造支撑。纸基微流控天然适用于基于比色法的半定量或定性即时检测。北京纸基微流控研发

玻璃基微流控技术的应用价值，根植于玻璃材料本身独特的物理化学属性。与聚合物材料相比，玻璃表面呈现化学惰性，能够耐受强酸、强碱及有机溶剂的长期侵蚀，确保芯片在复杂反应体系中维持长期稳定运行；其优异的光学透明度与极低的背景荧光特性，使基于荧光的检测手段能够获取高信噪比的信号，这在基因组学与蛋白质组学分析中尤为关键。同时，玻璃基芯片良好的热稳定性和尺寸刚性，能够承受聚合酶链反应等场景所要求的高温高压条件，为精密温控过程提供了可靠的物理支撑。正是凭借这些不可替代的性能优势，玻璃基微流控芯片在高效液相色谱、毛细管电泳、质谱接口等**分析场景中备受青睐。然而，玻璃基材质的脆性与加工难度，对微结构的精密制造提出了较高要求。将光刻、湿法/干法蚀刻等半导体制程工艺迁移至玻璃基材的精密加工，是实现玻璃微流控芯片产业化的路径。江苏优众微纳半导体科技有限公司依托自主纳米压印技术，基于覆盖光刻、刻蚀等环节的全流程半导体制程工艺，致力于将纳米级的精密加工能力应用于玻璃基微流控领域，为高灵敏度光学检测、高通量生物分析等应用提供专业的芯片制造支撑。北京纸基微流控研发该技术能在一块硅片上同时构建流体通道和加热、传感等有源元件。

玻璃基微流控技术凭借其独特的材料禀赋，在生物检测与化学分析领域展现出不可替代的价值。与聚合物材料相比，玻璃具有本质上的性能优势：其化学惰性能够抵御强酸、强碱及有机溶剂的侵蚀，确保芯片在苛刻反应体系中长期稳定运行；其优异的光学透明度与极低的背景荧光特性，使基于荧光的检测手段能够获取高信噪比的信号，在基因组学与蛋白质组学分析中尤为关键；同时，玻璃基芯片良好的热稳定性和尺寸刚性，使其能够承受聚合酶链反应等场景所要求的高温高压条件。然而，玻璃基材质的脆性与加工难度，对微结构的精密制造提出了更高要求。将光刻、湿法/干法蚀刻等半导体制程工艺迁移至玻璃基材的精密加工，是实现玻璃微流控芯片产业化的路径。江苏优众微纳半导体科技有限公司依托自主**纳米压印技术及覆盖光刻、刻蚀等环节的全流程半导体制程工艺，致力于将纳米级的精密加工能力应用于玻璃基微流控领域，为高灵敏度光学检测、高通量生物分析等应用提供专业的芯片制造支撑。

纸基微流控技术自2007年由Whitesides课题组提出以来，已成为即时检验（POCT）领域相当有潜力的技术方向之一。该技术以纸张作为芯片基材，利用其天然的多孔纤维网络结构实现流体的自发毛细驱动，从根本上摆脱了对外部泵阀等配套设施的依赖，大幅降低了设备构成与操作门槛。在结构设计层面，研究者已开发出二维平面通道与三维立体堆叠等多种构型，能够在同一微型平台上完成样品前处理、反应及检测等复杂步骤，满足多靶标、高通量的检测需求。三维结构通过层与层之间的垂直流动进一步拓展了流体操控空间，为集成滤膜、电极等功能元件创造了条件。在结果分析方面，比色分析、光谱检测、电化学传感等手段的引入，使纸基芯片逐步从定性判读迈向定量分析。然而，纸基微流控从学术研究走向大规模产业化，仍需克服关键瓶颈——纸张纤维的天然不均匀性对微通道的加工精度与批间稳定性提出了严苛要求。江苏优众微纳半导体科技有限公司依托自主纳米压印技术及覆盖光刻、刻蚀等环节的全流程半导体制程工艺，致力于将纳米级的精密加工能力赋能于纸基微流控芯片的制造环节，为低成本、高灵敏度的生物检测应用提供坚实的底层制造支撑。不同基材决定不同加工路径，光刻技术与软光刻技术是微流控芯片制造的主要手段。

硅基微流控技术是微流控领域的重要分支，其优势源于硅材料本身的独特属性和成熟的半导体制造体系。硅基芯片依托集成电路工艺发展而来的光刻、刻蚀等精密加工手段，能够在微米乃至纳米尺度上构建高精度的流体通道与功能结构。这种高保真度的微结构复制能力，确保了批间一致性与工艺可靠性，为生物检测从实验室研究向标准化量产奠定了基础。硅材料的理化稳定性同样为微流控应用提供了独特价值。硅基芯片具有优良的化学耐受性与导热性能，能够适应多种反应体系与温度控制场景。同时，硅基工艺与电学控制单元的集成具有天然优势，便于在芯片上实现电动操控、传感信号读取等功能模块的一体化设计。近年来，采用硅纳米线场效应晶体管等敏感元件与硅基微流控通道进行片上集成，已在无扩增、超灵敏的生物标志物检测方面展现出潜力。然而，硅基微流控芯片的大规模产业化仍面临加工成本与封装的现实挑战。精密加工所需的专业设备和复杂制程抬高了制造门槛，而硅材料本身的不透明性与脆性也限制了其在某些光学检测场景中的应用。江苏优众微纳半导体科技有限公司依托自主纳米压印技术与近20000平方米的标准化半导体Fab工厂，覆盖光刻、纳米压印、刻蚀等全流程工艺制程。微流控技术已在单细胞分析、器官芯片构建及现场即时诊断中展现出不可替代的价值。北京纸基微流控研发

硅材料优异的导热性，使其成为精确温度控制（如PCR）的理想基底。北京纸基微流控研发

江苏优众微纳半导体依托自有纳米压印工艺与完整半导体洁净产线，深耕通道式液滴微流控芯片定制制造，为高通量生物分析打造两相流体微型反应载体。该技术依靠互不相溶的两相流体在精密微通道内持续生成封闭微液滴，依靠流体压力完成液滴生成、传输、分选与融合，每一枚微滴都可形成**隔离反应空间，能够实现海量样本并行同步开展生化反应，在单细胞分离、微生物筛选、药物分子文库构建等领域具备独特应用优势。公司依托成熟微纳图形加工能力，可一体化制备聚焦、分流、捕获、筛选等复合功能流道结构，联合高校研发团队优化通道内壁界面适配工艺，改善两相流体混溶、细胞贴壁滞留、液滴成型一致性不足等量产难题。团队兼具半导体精密复刻与生物芯片开发能力，可根据客户实验场景定制专属流道布局，兼顾实验室原型试样开发与稳定商业化批量交付，覆盖模具开发、晶圆成型、表面改性、配套封装全流程服务。北京纸基微流控研发

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