江苏高精度WGP研发

线栅偏振 WGP 成型链路拆分图形制备与金属成型两大阶段，先借助纳米压印在基底表面形成栅格凹槽，再填充金属导电层构建偏振功能结构，各道工序可控性强，能够灵活调整栅格排布样式匹配不同光路设计需求。元件不依靠有机偏振膜层，可耐受长时间高低温循环工况，使用周期更长，适配工业在线质检设备、基因测序配套光学芯片、大功率激光起偏装置。产线可更换玻璃、石英等多种基底材质，适配不同使用环境，同时提供切片、镀膜、封装一站式配套加工服务，减少客户二次加工工序，兼顾研发试样与大批量供货需求。线栅偏振片的纳米线栅结构可通过双光束干涉曝光结合金属沉积工艺批量制备。江苏高精度WGP研发

纳米压印技术为WGP的大面积、高效率制造提供了一条有效路径。该工艺通过将带有线栅反向结构的精密模具压印于基底上的聚合物薄膜中，固化脱模后，再通过刻蚀将图形转移至金属层，从而形成终端的线栅结构。江苏优众微纳半导体科技有限公司的核心技术之一即为其自主的纳米压印工艺，可应用于线栅偏振片的批量化生产。相较于传统电子束光刻，纳米压印在保持纳米级图形精度的同时，提升了产出效率，有利于降制造成本。这种制造方式尤其适合需要大面积、高密度周期性结构的WGP产品，为线栅偏振片从实验室定制走向工业级应用提供了可行的量产方案。江苏高精度WGP研发线栅偏振片在机器视觉检测中作为偏振照明器件，增强缺陷与背景之间的对比度。

铝线栅偏振片在多个应用领域展现出其实用价值。其宽带工作特性使其适用于需要覆盖宽光谱范围的系统，如光谱分析、机器视觉和光学传感。铝材料的成熟工艺也意味着其制造成本相对可控，有利于实现产品量产。江苏优众微纳半导体科技有限公司为消费电子、光学成像等应用领域提供的微纳结构器件中，包含了基于此类技术的方案。然而，在选用铝线栅WGP时，也需考虑其在不同波段下的性能差异，以及对环境因素的适应性。通过合理的设计与工艺优化，铝线栅偏振片能够满足多数常规应用对偏振控制的需求。

WGP 整套制造体系兼顾中小尺寸试样与大面积整片基板加工需求，整套工艺弱化传统偏振元件容易出现的波段适配短板，适配多场景光路集成。加工前期会对基板开展多轮洁净处理，表面微量杂质，避免后续栅格成型出现残缺。金属栅结构依托转移工艺完整复刻在基板表层，界面结合状态稳定，面对持续光束照射不易产生结构损伤。元件可和滤光片、分光镜等多种光学器件组合装配，适配便携检测仪器、工业在线监测光路、室内科研光学平台。表面可叠加多层防护膜层，抵御日常使用中水汽、粉尘附着，整套生产流程全程在洁净空间完成，分阶段开展形貌与光学性能核验，可根据客户整机内部空间调整元件外形，适配各类轻量化光学设备长期配套使用。该元件在投影显示系统中用于分离照明光束，提升系统的光能利用效率。

深度 200nmWGP 通过分段刻蚀工艺修整栅格侧壁形貌，消除深度不均引发的光路局部衰减问题，金属栅层与栅槽贴合紧密，即便设备长期处于冷热交替环境，也不会出现栅条松动偏移情况。元件偏振调控区间覆盖行业常用工作波段，可嵌入各类紧凑型光学设备，用于光通讯信号滤波、微光探测、消费电子 AR 光学模组。整条产线设置多轮形貌与光学检测工序，对每一片成品开展筛查，把控交付品质。可按照客户设备图纸调整元件外形、基底材质与栅格排布，适配多元化光路搭建需求，支持长期稳定批量供货。该器件的纳米线栅结构采用硬质材料制备，具有较高的机械与化学稳定性。江苏高精度WGP研发

线栅偏振片在偏振敏感光学相干层析中用于获取样本的偏振态图像，区分不同组织类型。江苏高精度WGP研发

铝因其在宽光谱范围内具有较高反射率和适中的光学常数，成为制造线栅偏振片的常用金属材料之一。采用铝制备的线栅结构，能够在可见光至红外波段实现对偏振方向平行于线栅的光的有效抑制。铝薄膜的制备工艺相对成熟，可通过蒸发或溅射等方式沉积于基底表面，再结合光刻与刻蚀工艺形成线栅图案。江苏优众微纳半导体科技有限公司的镀膜与刻蚀工艺平台，可支持铝线栅的加工制造。铝材料的成本相对较低，同时其导电性良好，有利于在光与金属相互作用中产生预期的等离子体效应，保证偏振器件的性能。江苏高精度WGP研发

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