气冷罗茨真空泵的极限真空度受结构设计、气冷系统效率、前级泵性能等因素影响,其典型范围为1×10⁻²Pa至1Pa(约7.5×10⁻⁵Torr至7.5×10⁻³Torr)。具体可分为以下场景:单级气冷罗茨泵:配合前级泵(如旋片泵、干式螺杆泵)时,极限真空度通常在1×10⁻¹Pa至1Pa之间,适用于中高真空需求场景(如真空干燥、包装)。多级气冷罗茨泵:通过串联2-3级气冷罗茨单元,配合高性能前级泵(如涡旋泵),极限真空度可低至1×10⁻²Pa至5×10⁻²Pa,满足高真空应用(如半导体薄膜沉积)。特殊定制型号:针对航天、核工业等极端需求,采用较低间隙转子(间隙≤5μm)和高效气冷系统的气冷罗茨泵,极限真空度可突破1×10⁻³Pa,但需配合超高真空前级泵(如扩散泵)使用。淄博干式真空依托先进的生产技术、强大的科研队伍、健全的销售网络和完善的售后服务。北京三叶气冷罗茨真空泵维修
工业场景中,被抽气体往往含有水汽、粉尘或腐蚀性成分,普通罗茨泵易因冷凝、结垢或腐蚀导致故障,而气冷系统通过多重机制提升安全性:当处理含可凝性气体(如水蒸气、有机溶剂蒸气)时,冷却气体的流动可降低泵腔内壁温度,避免气体因压缩升温后遇冷冷凝(如水蒸气在60℃以上不易冷凝)。例如,在食品冻干工艺中,气冷系统将泵腔温度控制在70℃,可防止水蒸气在泵内凝结成冰,避免转子卡死。冷却气体的高速流动(流速可达20-30m/s)能冲刷转子表面的粉尘颗粒,减少结垢;同时,部分冷却气体从排气口排出时,可形成“气幕”,阻止外部粉尘倒灌进入泵腔,尤其适合矿山、金属加工等多尘环境。北京三叶气冷罗茨真空泵维修淄博干式真空致力于携手行业内伙伴,与客户以及同行业公司,建立长期稳定、互惠互利的友好合作关系。
传动系统主要由驱动电机、联轴器、同步齿轮箱和轴承组成。驱动电机通常选用三相异步电机(功率范围0.75-75kW),根据真空需求可搭配变频调速装置(调速范围500-3000r/min)。联轴器采用弹性柱销联轴器或膜片联轴器,既能传递扭矩,又能补偿电机轴与泵轴的安装偏差(径向偏差≤0.1mm,轴向偏差≤0.05mm)。同步齿轮箱是传动系统的重点,内部装有一对高精度helical齿轮(模数2-8,精度等级GB/T10095.16级),通过键连接分别与两根转子轴固定,齿轮速比为1:1,保证两转子反向同步旋转。齿轮箱内填充极压工业齿轮油(如N320号),并设计有油位观察窗和放油孔。轴承采用双列角接触球轴承或圆柱滚子轴承,承受转子的径向和轴向力,轴承座与端盖集成设计,便于安装和维护。
扩散泵是超高真空领域的传统设备(极限真空度可达1×10⁻⁸Pa),但需加热扩散泵油产生蒸气流,能耗高(单台功率5-15kW),且启动时间长(需30-60分钟预热)。气冷罗茨泵为机械抽气,功率只1-5kW(同抽速下比扩散泵低60%),且启动无需预热,从开机到达到工作真空度只需5-10分钟,大幅提高生产效率。在半导体光刻胶涂覆工艺中,扩散泵每次开机需等待1小时,而气冷罗茨泵可随时启停,单日有效工作时间增加2小时以上。虽然扩散泵真空度更高,但气冷罗茨泵在1×10⁻²Pa至1Pa的高真空区间内,抽气效率(单位能耗的抽气量)是扩散泵的2-3倍,满足90%以上的工业高真空需求。淄博干式真空泵有限公司是集科研、设计、生产、销售于一体的现代化企业。
这种极小间隙既能避免转子旋转时的机械摩擦,又能通过“密封效应”减少气体返流,保证抽气效率。同步传动:转子通过两端的同步齿轮实现反向等速旋转(转速通常为1500-3000r/min),齿轮精度达到ISO5级以上,确保转子在高速运行中始终保持对称位置,避免碰撞。气冷组件集成:与传统罗茨泵不同,气冷型泵在泵壳侧面或排气口位置增设冷却气体入口、回流管路及内置冷却器(如翅片式换热器),冷却气体(通常为洁净空气或氮气)可直接进入泵腔接触转子表面,形成实时散热通道。气冷罗茨真空泵的抽气过程通过转子的连续旋转完成,可细分为四个阶段,每个阶段均依赖容积变化实现气体传输,同时气冷系统全程介入以控制温升:当转子旋转至特定角度时,两个转子与泵壳之间形成一个逐渐扩大的封闭空间(称为“吸气腔”),此时进气口与吸气腔连通,被抽气体在压差作用下进入吸气腔。淄博干式真空泵有限公司在职人员具有十多年的真空行业从业经验。威海气冷罗茨真空泵厂家
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罗茨真空泵作为容积式真空设备的典型,凭借抽速大、运行稳定等特点,广阔应用于化工、半导体、食品加工等领域。而气冷罗茨真空泵通过创新性的气体冷却技术,突破了传统罗茨泵的温差限制,在高压差、高负载工况下展现出独特优势。气冷罗茨真空泵的工作原理以“容积式抽气”为重点,其结构与传统罗茨泵一脉相承,但通过气冷系统的优化,实现了更高压差下的稳定运行。具体可分为基础结构构成和抽气循环过程两部分。气冷罗茨真空泵的重点结构由泵壳、两个呈“8”字形的共轭转子、同步齿轮、轴承及气冷组件构成,其中转子与泵腔的精密配合是抽气效率的关键:转子设计:两个转子采用对称分布的“8”字形结构(也称为“罗茨型线”),材质多为球墨铸铁(QT400-15)或较高的强度合金(如316不锈钢),经精密加工后,转子间及转子与泵壳内壁的间隙控制在0.1-0.2mm之间。北京三叶气冷罗茨真空泵维修