关键结构作用：进气口设计：通常为轴向或径向开口，形状与尺寸需匹配转子吸气端的齿间轮廓，以减少进气阻力。例如，轴向进气口可直接对准转子吸气侧，降低气体流入时的湍流损耗。转子型线影响：不同型线（如对称型线、非对称型线）的吸气腔容积变化速率不同。非对称型线因齿形角度差异，可延长吸气时间，提升吸气效率。同步齿轮协同：同步齿轮确保两转子保持精确的相位差（通常为180°），避免吸气阶段因转子干涉导致容积构建失效。淄博干式真空提供专业的真空制作、工程设计、安装调试、保养维护等服务。潍坊干式无油真空泵维修同步齿轮确保两根螺杆转子能够准确地同步反向旋转，避免相互干涉，减少磨损，降低运行噪音。高精度轴承则为螺杆转...

容积变化规律：吸气阶段始于转子齿间容积与进气口连通，终于该容积完全脱离进气口。以4:6齿比的螺杆为例，主动转子每旋转一周，单个齿间容积的吸气过程约占120°转角。在此期间，容积从最小值（啮合点位于进气端时）逐渐扩大至较大值（两转子齿顶与泵壳形成较大空间时），容积变化率与转子转速、型线参数直接相关。压力与温度变化：吸气腔内压力随容积扩大而降低，接近进气口压力（通常为大气压或系统压力）。由于气体流入过程近似等温膨胀，腔内温度波动较小，但高速旋转时转子与气体的摩擦会导致局部温升（约5-10℃），需通过泵体冷却系统控制。淄博干式真空拥有一站式服务产品体系的团队：团结合作、敬业尽责、共同超越企业使命！烟...

深沟球轴承主要用于承受螺杆转子的径向载荷，它具有结构简单、摩擦系数小、极限转速高的特点，能够适应螺杆转子高速旋转的工作要求。角接触球轴承则可以同时承受径向载荷和轴向载荷，并且能够通过调整轴承的预紧力来提高转子的刚性和旋转精度，常用于对轴向定位精度要求较高的部位。圆柱滚子轴承具有较大的径向承载能力，适用于承受较大径向载荷的场合，如在一些大型螺杆真空泵中，会采用圆柱滚子轴承来支撑螺杆转子。轴承的安装和润滑对于其性能和寿命有着重要影响。在安装过程中，需要严格按照安装工艺要求进行操作，确保轴承与轴和轴承座之间的配合精度。淄博干式真空是以科研、生产、销售为一体的真空设备专业生产厂家。黑龙江不锈钢螺杆真空...

提升极限真空度需减小转子间隙，但会导致抽速下降。处理NF₃、SO₂等强腐蚀性气体时，即使有涂层防护，转子表面仍可能出现局部腐蚀。某面板厂的螺杆泵在处理CF₄气体6个月后，转子涂层出现剥落，极限真空度从8×10⁻³Pa升至3×10⁻²Pa。多螺杆设计：三螺杆泵相比双螺杆，转子啮合更紧密，间隙可缩小至30~50μm，极限真空度提升至10⁻⁴Pa级别（如某实验型三螺杆泵已实现5×10⁻⁴Pa）；陶瓷转子应用：采用SiC（碳化硅）陶瓷材料，热膨胀系数只为钢的1/5，可将温度波动引起的间隙变化控制在3μm以内，适用于极端温度工况。淄博干式真空以优良的品质、束越的特性和完善的售后服务体系，得到客户的认可和...

在螺杆真空泵的世界里，螺杆转子如同心脏一般，其类型与特性直接决定了真空泵的性能表现。随着工业技术的不断发展，螺杆转子的类型日益丰富，不同类型的转子在结构设计、工作原理上存在差异，进而对螺杆真空泵的抽气效率、真空度、能耗等关键性能指标产生不同影响。接下来，我们将深入探究螺杆真空泵螺杆转子的各类别，以及它们是如何塑造真空泵性能的。对称型线螺杆转子是早期螺杆真空泵常用的类型，其转子型线呈对称分布，形状较为规则。这种转子的齿形在圆周方向上左右对称，设计和加工相对简单。在制造过程中，由于型线的对称性，对加工设备和工艺的要求相对较低，能够降低生产成本，缩短生产周期。例如，一些小型的螺杆真空泵生产企业，在技...

干式螺杆真空泵的径向密封主要依靠螺杆转子与泵体之间的微小间隙来实现。通过精确的设计和加工工艺，将转子与泵体之间的径向间隙控制在极小的范围内，一般在几十微米到几百微米之间。这种微小的间隙能够在保证螺杆转子自由旋转的同时，尽可能地减少气体的径向泄漏。为了保证间隙密封的效果，对螺杆转子和泵体的加工精度要求极高。在制造过程中，采用高精度的数控机床进行加工，并经过精细的研磨和抛光处理，确保转子和泵体的表面粗糙度达到极低的水平。同时，在设计阶段，还需要考虑材料的热膨胀系数等因素，预留出因温度变化导致的尺寸变化空间，避免因温度升高使转子膨胀而导致间隙过小甚至卡死。淄博干式真空是以科研、生产、销售为一体的真空...

在螺杆转子的制造过程中，高精度的加工设备和先进的加工工艺是确保间隙合理的基础。目前，螺杆转子的加工普遍采用五轴联动数控机床，这种设备能够实现对复杂型线的精确加工，保证转子的尺寸精度和表面质量。在加工过程中，对刀具的选择、切削参数的设置都有严格要求。刀具的磨损会直接影响转子的加工精度，因此需要定期更换刀具，并对刀具的磨损情况进行实时监测。同时，合理控制切削速度、进给量等参数，能够减少加工过程中产生的热变形和残余应力，保证转子的尺寸稳定性。加工完成后，还需运用高精度的测量仪器，如三坐标测量仪，对转子的各项尺寸进行精确测量，确保其尺寸精度符合设计要求。标准化和规模化之间良性互动发展的生产优势，铸就淄...

干式螺杆真空泵的径向密封主要依靠螺杆转子与泵体之间的微小间隙来实现。通过精确的设计和加工工艺，将转子与泵体之间的径向间隙控制在极小的范围内，一般在几十微米到几百微米之间。这种微小的间隙能够在保证螺杆转子自由旋转的同时，尽可能地减少气体的径向泄漏。为了保证间隙密封的效果，对螺杆转子和泵体的加工精度要求极高。在制造过程中，采用高精度的数控机床进行加工，并经过精细的研磨和抛光处理，确保转子和泵体的表面粗糙度达到极低的水平。同时，在设计阶段，还需要考虑材料的热膨胀系数等因素，预留出因温度变化导致的尺寸变化空间，避免因温度升高使转子膨胀而导致间隙过小甚至卡死。淄博干式真空生产条件完善，检测手段完整齐全。...

热变形补偿设计，齿轮材料（如20CrMnTi）与转子材料（42CrMo）的线膨胀系数接近（11~12×10⁻⁶/℃），减少温差变形差；强制油冷：通过油泵将润滑油以0.5~1MPa压力注入齿轮啮合区，带走热量（油温控制在40~60℃）；箱体散热：齿轮箱外壁设置散热筋片，增大散热面积（散热系数提升30%）。飞溅润滑：适用于转速≤3000r/min的场景，通过齿轮搅动油池（油位高度为齿轮直径1/3）实现润滑；润滑油选用极压齿轮油（如ISOVG220），黏度指数＞150，闪点＞220℃。压力润滑，高速工况（＞3000r/min）采用油泵供油，流量按0.1~0.2L/(min·kW)计算，过滤精度≤25...

针对不同气体介质（如腐蚀性气体、可凝性蒸气），三阶段的结构需特殊处理。齿形设计：常用齿形包括对称型线（如渐开线）和非对称型线（如单边螺旋）。非对称齿形因压缩腔体积变化更均匀，可减少气体回流，提升抽气效率。例如，采用6:5齿型比的非对称转子，相比传统4:6齿型，抽气速率可提高15%-20%。螺距与导程：螺距越大，气体在泵腔内的轴向流速越高，但压缩比降低；导程（螺杆旋转一周前进的距离）影响气体压缩路径，长导程设计适用于大抽速需求，短导程则利于提高真空度。转子长度与直径：转子长径比（L/D）影响容积利用率。L/D=3-5时，泵腔容积效率较佳，过长会导致气体温升加剧，过短则压缩次数不足，抽气能力下降。...

建立完善的设备维护保养制度，定期对螺杆真空泵进行检查、清洁和维护。检查设备的各个部件，如转子、齿轮、轴承、密封件等，及时发现并更换磨损或损坏的部件。清洁泵腔、管道和过滤器，防止杂质和粉尘进入设备内部，影响设备的正常运行。定期对设备进行润滑、紧固和调整，确保设备的各个部件处于良好的工作状态。此外，对设备的运行参数进行监测和分析，如真空度、抽气流量、电机电流、温度等，及时发现设备运行中的异常情况，并采取相应的措施进行处理。淄博干式真空不断改善和改进质量管理体系，牢固树立“质量是企业生命”的观念。福建干式螺杆真空泵定做工作介质与环境因素：气体物理性质，分子量越大，气体密度越高，压缩时耗功增加，抽气能...

此外，为了便于密封结构的安装、维护和检修，整体密封系统的设计还需要考虑结构的可拆卸性和可更换性。例如，将密封元件设计成模块化结构，当某个密封元件出现损坏或密封性能下降时，可以方便快捷地进行更换，减少设备的停机时间，提高生产效率。干式螺杆真空泵通过非接触式螺杆转子设计、气体冷却与散热技术以及清洁的真空获得过程，实现了无油运行；而其精密的轴向密封结构、径向密封结构以及整体密封系统设计，则保证了泵腔内的真空度和抽气效率，防止气体泄漏和杂质进入。这些独特的设计和技术，使得干式螺杆真空泵在众多领域得到广泛应用，并随着技术的不断发展和创新，其性能和应用范围将进一步提升和拓展。淄博干式真空定期组织全员培训，...

普通合金钢转子是采用常见的合金钢材料制造的螺杆转子，如45号钢、铬钼合金钢等。这些材料具有一定的强度和耐磨性，能够满足一般工况下螺杆真空泵的使用要求。普通合金钢转子的成本相对较低，适用于对转子性能要求不是特别苛刻的场合，如一些普通的工业真空包装、物料输送等领域。为了满足特殊工况下的使用需求，如抽除腐蚀性气体、高粉尘环境等，会采用特殊材质的螺杆转子，如不锈钢、钛合金等。这些材料具有优异的耐腐蚀性和耐磨性，能够有效抵抗恶劣环境对转子的侵蚀。此外，还会对转子表面进行特殊处理，如镀硬铬、氮化处理、喷涂陶瓷涂层等。镀硬铬能够提高转子表面的硬度和耐磨性，氮化处理可以增强转子表面的硬度和耐腐蚀性，喷涂陶瓷涂...

旋片式真空泵主要由定子、转子、旋片、泵腔以及排气阀等部件组成。其工作原理是转子偏心安装在定子内，旋片装在转子的槽内，并在离心力和弹簧力的作用下，旋片端部始终与定子内壁紧密接触，将泵腔分隔成多个可变容积的工作腔。随着转子的转动，吸气腔容积不断增大，外界气体被吸入；当吸气腔与排气腔连通时，气体被压缩并通过排气阀排出泵外。螺杆真空泵与旋片式真空泵相比，具有明显的优势。在抽气性能方面，螺杆真空泵的抽速范围更广，能够满足不同规模和工艺的抽气需求，从实验室小型设备到大型工业生产真空系统都能适用；而旋片式真空泵抽速相对较小，在大型真空系统中应用受限。淄博干式真空致力于携手行业内伙伴，与客户以及同行业公司，建...

干式螺杆真空泵的密封结构并非各个密封部件的简单组合，而是一个相互配合、协同工作的整体密封系统。在设计过程中，需要综合考虑轴向密封和径向密封的相互影响，以及不同密封部件之间的兼容性。在选择轴向密封方式时，需要考虑其对径向密封的影响，避免因轴向密封结构的安装和运行导致径向间隙发生变化，影响径向密封效果。同时，整体密封系统还需要与泵体的冷却系统、润滑系统（虽然干式螺杆真空泵无油润滑，但可能存在少量用于轴承等部件的润滑）等相互协调，确保设备在各种工况下都能保持良好的密封性能和运行稳定性。淄博干式真空产品制造精良，配置档次高，售后服务及时。河北干式无油真空泵批发气流脉动：螺杆真空泵在运行时，由于转子的旋...

轴承磨损：轴承作为支撑螺杆转子旋转的重要部件，长期运行后会出现磨损。磨损后的轴承间隙增大，无法为转子提供稳定的支撑，导致转子在旋转时产生晃动和振动。这种振动不仅会加剧轴承的进一步磨损，还会产生噪音，噪音频率范围较广，涵盖低频到中高频段，发出“沙沙”或“咕噜咕噜”的声音。气体压缩与膨胀：在螺杆真空泵的工作过程中，气体经历吸气、压缩和排气三个阶段。在压缩阶段，气体被急剧压缩，压力和温度迅速升高，气体分子之间的相互碰撞加剧，产生强烈的湍流。当压缩后的气体从排气口排出时，压力突然释放，形成气体的膨胀，这种压缩和膨胀过程会产生气体动力噪音。气体动力噪音的频率较高，通常在1000-5000Hz，类似于“呼...

气流脉动：螺杆真空泵在运行时，由于转子的旋转，气体的吸入和排出并非连续均匀的，而是存在周期性的脉动。这种气流脉动会在管道内产生压力波动，当压力波动传递到管道的各个部位时，会引起管道的振动，进而产生噪音。气流脉动噪音的频率与转子的转速和齿形有关，一般在中低频段（200-1000Hz），表现为有规律的“砰砰”声。安装不当：螺杆真空泵在安装过程中，如果基础不平整、地脚螺栓未拧紧或管道连接不合理，会导致设备在运行时产生额外的振动和噪音。例如，基础不平整会使设备重心偏移，运行时产生晃动；管道连接过紧或过松，会限制设备的正常振动，或因管道晃动与设备产生共振，增大噪音和振动水平。淄博干式真空生产条件完善，检...

在螺杆真空泵的排气管道上安装消音器，消音器可以根据气体的流量、压力和噪音频率等参数进行选择。常见的消音器类型有阻性消音器、抗性消音器和阻抗复合式消音器。阻性消音器主要通过吸声材料吸收噪音，适用于中高频噪音的消除；抗性消音器通过改变管道的截面形状和尺寸，利用声波的反射和干涉原理降低噪音，适用于低频噪音的消除；阻抗复合式消音器结合了两者的优点，能够在较宽的频率范围内有效降低噪音。在吸气管道和排气管道上安装缓冲装置，如缓冲罐、波纹管等，缓冲装置可以吸收气流脉动产生的压力波动，减少管道的振动和噪音。淄博干式真空依托先进的生产技术、强大的科研队伍、健全的销售网络和完善的售后服务。济南变螺杆真空泵厂家气封...

热变形补偿设计，齿轮材料（如20CrMnTi）与转子材料（42CrMo）的线膨胀系数接近（11~12×10⁻⁶/℃），减少温差变形差；强制油冷：通过油泵将润滑油以0.5~1MPa压力注入齿轮啮合区，带走热量（油温控制在40~60℃）；箱体散热：齿轮箱外壁设置散热筋片，增大散热面积（散热系数提升30%）。飞溅润滑：适用于转速≤3000r/min的场景，通过齿轮搅动油池（油位高度为齿轮直径1/3）实现润滑；润滑油选用极压齿轮油（如ISOVG220），黏度指数＞150，闪点＞220℃。压力润滑，高速工况（＞3000r/min）采用油泵供油，流量按0.1~0.2L/(min·kW)计算，过滤精度≤25...

同时，还需对真空泵的运行参数，如抽气流量、真空度、电机电流等进行监测分析，通过运行参数的变化判断转子间的间隙是否合理。例如，当发现抽气流量下降、真空度无法达到设定值，且排除其他故障原因后，很可能是由于转子间的间隙增大导致气体泄漏增加。一旦发现间隙出现异常变化，需要及时停机检查，分析原因并采取相应的措施进行调整或修复，确保转子间的间隙恢复到合理范围。螺杆转子间的间隙大小直接影响着气体在泵腔内的泄漏量，进而影响真空泵的抽气效率。当转子间的间隙过小时，虽然能够有效减少气体泄漏，但会增加转子之间的摩擦阻力，导致电机负载增大，能耗增加，同时还可能因摩擦产生的热量导致转子局部温度升高，影响转子的正常运行。...

能量损耗类型：泄漏损耗：转子间、转子与泵壳的间隙会导致高压气体向低压区泄漏，尤其在压缩后期压差较大时，泄漏量可达理论压缩量的5%-8%。摩擦损耗：转子高速旋转时与气体的粘性摩擦、同步齿轮啮合摩擦等，约占总输入功率的15%-20%。流动损耗：气体在压缩腔内的湍流、涡流导致能量耗散，优化型线曲率可降低该损耗（如采用摆线-渐开线组合型线，流动阻力可减少30%）。压缩阶段的优化策略，间隙动态补偿：采用热变形预补偿设计（如转子采用阶梯式温差结构），使高温下间隙自动维持在合理范围。多级压缩设计：对于高压缩比需求，可采用两级螺杆串联，中间设置冷却器，降低单级压缩温升，提升效率。客户的满意，是淄博干式真空永恒...

水环与叶轮轮毂之间形成一个月牙形空间，被分成多个小腔室。当叶轮旋转时，小腔室的容积周期性地变化，在吸气侧，小腔室容积逐渐增大，压力降低，气体从进气口被吸入；在排气侧，小腔室容积逐渐减小，气体被压缩并通过排气口排出。螺杆真空泵与水环式真空泵相比，具有不同。在极限真空度方面，螺杆真空泵极限真空度高，单泵可由大气压直接抽至1Pa（绝压）的真空度，安装简单方便，连接管道少，泄漏点少；而水环式真空泵的极限真空度较低，一般只能达到2000Pa，若要获得更高真空度，需与多级罗茨式真空泵或多级蒸汽喷射泵串联，这使得系统结构复杂，连接泄漏点增多，容易出现故障。淄博干式真空是以科研、生产、销售为一体的真空设备专业...

排气阶段的系统集成要点，排气温度控制：排出气体温度若超过120℃，可能导致管道密封件老化，需在排气端设置温度传感器，联动冷却系统启停。粉尘过滤：若输送含粉尘气体，排气口需配置高效过滤器（精度≤1μm），防止粉尘沉积影响转子间隙。转速直接影响三阶段的时间分配。低速时压缩时间长，温升低，但吸气量不足；高速时吸气效率提升，但压缩温升加剧，建议常用转速范围为3000-6000rpm（根据泵径调整）。吸气、压缩、排气阶段的间隙需求存在矛盾：吸气阶段需小间隙减少泄漏，压缩阶段需考虑热膨胀预留间隙。现代设计通过有限元分析（FEA）优化转子热变形曲线，使全工况间隙维持在0.08-0.12mm。淄博干式真空致力...

其典型配置包括：主动齿轮：与驱动电机相连，直接接收动力；从动齿轮：套装在从动转子轴上，通过啮合关系跟随主动齿轮旋转；齿轮箱体：密封齿轮副，容纳润滑油并隔绝泵腔气体。同步齿轮的准确传动依赖于渐开线齿廓的设计原理。渐开线齿形的特性在于：啮合点始终沿啮合线移动，传动比恒定（i=主动轮齿数/从动轮齿数）；齿廓间的正压力方向始终与基圆相切，可降低冲击与振动；加工工艺成熟，便于实现高精度（通常要求ISO6级以上精度）。淄博干式真空凭借稳定的产品质量、务实的工作作风、规范的管理体制、良好的服务不断开拓向前。新疆螺杆真空泵维修一般情况下，采用非对称型线螺杆转子的螺杆真空泵极限真空度可以达到10⁻³Pa甚至更低...

选择高精度、低噪音的轴承，如角接触球轴承、圆柱滚子轴承等，并根据螺杆真空泵的工作条件和负荷要求，合理选择轴承的型号和规格。加强轴承的润滑管理，定期检查和更换润滑油或润滑脂，确保轴承得到良好的润滑。润滑油或润滑脂的选择应根据轴承的工作温度、转速和负荷等因素确定，一般要求润滑油的粘度适中，润滑脂的滴点高于工作温度20-30℃。良好的润滑能够减少轴承的摩擦和磨损，降低振动和噪音。通过计算机辅助设计（CAD）和计算流体动力学（CFD）分析，对螺杆真空泵的泵体流道进行优化设计。合理设计吸气口和排气口的形状、尺寸和位置，减少气体在进出口处的流动阻力和涡流现象。将吸气口设计成渐扩形，使气体能够平稳地进入泵腔...

在一些对真空度要求极高的应用领域，如半导体制造、真空镀膜等，确保螺杆转子间的间隙合理对于生产出高质量的产品至关重要，微小的间隙偏差都可能导致产品质量下降甚至报废。转子间的间隙不合理会增加螺杆真空泵的能耗。当间隙过小时，转子之间的摩擦阻力增大，电机需要消耗更多的能量来驱动转子旋转，导致能耗增加。而间隙过大时，由于气体泄漏量增加，为了达到相同的抽气效果，真空泵需要运行更长时间或提高转速，同样会增加能耗。合理的转子间隙能够使气体在泵腔内的流动阻力较小化，减少转子之间的摩擦，降低电机负载，从而降低真空泵的能耗。从长期运行成本来看，保持转子间的合理间隙能够为企业节省大量的能源费用，提高企业的经济效益。淄...

多头螺杆转子由于结构相对复杂，在高速旋转过程中，其各个螺旋槽之间的受力情况相对复杂，容易产生不平衡力和振动。单头螺杆转子结构简单，受力相对均匀，运行稳定性较好。在对运行稳定性要求较高的场合，如精密仪器设备配套的真空系统中，单头螺杆转子的螺杆真空泵能够提供更稳定的真空环境。采用特殊材质如不锈钢、钛合金制造的螺杆转子，以及经过表面处理如镀硬铬、氮化处理、喷涂陶瓷涂层的转子，能够有效抵抗腐蚀性气体的侵蚀，延长转子的使用寿命。淄博干式真空生产条件完善，检测手段完整齐全。不锈钢螺杆真空泵故障与维修螺杆真空泵凭借无油、抗腐蚀、抽速稳定的特性，在10⁻¹~10⁻³Pa高真空区间已成为主流选择，极限真空度可达...

泵体两端的轴封采用迷宫密封+气镇组合设计：迷宫密封，多层环形槽道配合氮气吹扫，阻止大气向真空侧泄漏，泄漏率≤10⁻⁸Pa·m³/s；气镇阀，在排气阶段引入少量气体，降低压缩比，避免水蒸气凝结导致的密封失效，尤其适用于处理含水蒸气的工艺（如真空干燥）。此外，排气背压需控制在100~200kPa（标准大气压附近），若背压过高（如排气管道堵塞），会导致压缩气体反流，极限真空度下降50%以上。螺杆泵运行时，转子摩擦与气体压缩产生热量，若温度升高10℃，转子热膨胀可使间隙减小10~15 μm，导致气体反流增加。淄博干式真空愿意与所有合作伙伴一同努力，在真空设备行业中与时俱进、不断超越。四川防腐螺杆真空泵...

螺杆真空泵中常用的密封装置包括机械密封、迷宫密封和填料密封等。机械密封是一种较为精密的密封方式，它由动环、静环、弹簧、密封圈等部件组成。动环安装在螺杆转子的轴上，随轴一起旋转，静环则固定在泵体上。在弹簧力的作用下，动环和静环紧密贴合，形成密封面，阻止气体泄漏。机械密封具有密封性能好、泄漏量小、使用寿命长等优点，广泛应用于对密封要求较高的螺杆真空泵中。迷宫密封是通过在泵体和螺杆转子之间设置一系列曲折的通道，利用气体在这些通道内的流动阻力来实现密封。迷宫密封结构简单，无需复杂的密封元件，维护方便，但密封效果相对机械密封较差，一般适用于对密封要求不是特别高的场合，如在一些抽气要求较低的辅助真空系统中...

这种振动会通过轴承、泵体传递到整个设备，进而产生噪音。例如，转子某一侧的材料密度稍有差异，在旋转时就会因离心力的不均衡而产生振动，振动频率与转子转速相关，一般在低频段（100-500Hz）较为明显，发出类似“嗡嗡”的噪音。齿轮传动：同步齿轮是保证两根螺杆转子准确同步旋转的关键部件，但齿轮在传动过程中，由于齿与齿之间的啮合冲击、制造误差以及磨损等因素，会产生振动和噪音。齿轮的啮合频率通常为转子转速与齿轮齿数的乘积，其振动和噪音频率较高，一般在中高频段（500-2000Hz），表现为尖锐的“咔咔”声。淄博干式真空泵有限公司立足现在面向未来。广东防腐螺杆真空泵批发在一些对真空度要求极高的应用领域，如...