旋片泵通过转子偏心旋转带动滑片压缩气体,其优势是结构简单、成本低,但抽气速率小(常规型号≤200L/s),且因滑片与泵腔摩擦剧烈,长期运行后易因磨损导致真空度下降(运行5000小时后,极限真空度可能从1×10⁻¹Pa升至10Pa)。气冷罗茨泵采用“双转子啮合”结构,无滑片摩擦,抽气速率更大(常规型号可达100-2000L/s),且磨损极小(运行10000小时后,转子间隙增加不超过2μm),真空度稳定性优异。例如:在大型真空镀膜机中,旋片泵需4台并联才能满足抽气需求,而1台气冷罗茨泵即可胜任,且能耗降低50%。此外,旋片泵因依赖油润滑,无法处理含少量水汽或腐蚀性气体的工况(会导致油乳化失效);气冷罗茨泵通过选用耐蚀材料(如316不锈钢转子)和气体吹扫,可耐受5%以下的水汽或弱腐蚀性气体(如少量HCl),适用场景更广阔。淄博干式真空本着诚信、品质、服务的经营理念,不断开拓创新,与时俱进,深获广大用户的赞扬。新疆气冷罗茨真空泵定做
气冷罗茨真空泵是一种基于容积式气体传输原理的真空泵,其重点结构由两个同步旋转的“8”字形转子构成,通过转子间及转子与泵壳内壁的精密间隙实现气体输送。与传统罗茨真空泵不同,气冷罗茨真空泵在设计上引入了独特的气体冷却系统,通过将冷却气体(通常为低温空气或经冷却器处理的循环气体)直接导入泵腔,有效控制转子因高速旋转和气体压缩产生的温升,从而允许在更高压差下稳定运行。具体工作过程如下:被抽气体从进气口垂直吸入泵腔,随着转子旋转,气体被封闭在由转子和泵壳形成的空间内。新疆气冷罗茨真空泵定做淄博干式真空提供专业的真空制作、工程设计、安装调试、保养维护等服务。
普通罗茨真空泵因依赖前级泵和水冷系统,整体能耗较高。例如,传统罗茨-水环机组的功率通常为110kW以上,且水冷系统需额外消耗约15%的总能耗。气冷罗茨真空泵通过取消前级泵和简化冷却系统,能耗大幅降低。以某电厂改造为例,气冷罗茨-水环机组替代传统水环泵后,运行电流从170A降至50A,节电率达73%,两年内即可收回改造成本。此外,气冷泵无需冷却水,避免了水处理费用和管道维护成本,尤其适合干旱地区或对环境敏感的应用。普通罗茨真空泵对环境温度和气体成分敏感,高温或含可凝性气体的工况易导致转子卡死。例如,在夏季高温时,水冷泵的冷却效率下降,真空度可能降低10-20%。
系统泄漏(如法兰密封不良、管路破损)会引入外界气体,抵消泵的抽气效果。正常情况下,真空系统的允许泄漏率需≤1×10⁻⁷Pa·m³/s,若泄漏率增至1×10⁻⁶Pa·m³/s,在入口压力10Pa时,抽气速率会被抵消约10%(因泄漏气体需被额外抽除)。气冷罗茨泵的密封件(如骨架油封、O型圈)需耐温(气冷系统可降低密封件温度),否则高温会加速密封件老化,导致泄漏率上升。定期维护是维持抽气速率的关键:轴承磨损会导致转子偏心,增大与泵腔的间隙,例如轴承径向游隙从0.01mm增至0.1mm时,抽气速率下降15%;润滑油(用于轴承润滑)乳化或变质会增加摩擦热,间接影响气冷效率,导致泵温上升。建议每运行1000小时更换润滑油,并检查转子间隙,必要时重新研磨调整。淄博干式真空拥有施工、技术指导,及后续服务的跟进等实现完整的“一站式”服务。
扩散泵是超高真空领域的传统设备(极限真空度可达1×10⁻⁸Pa),但需加热扩散泵油产生蒸气流,能耗高(单台功率5-15kW),且启动时间长(需30-60分钟预热)。气冷罗茨泵为机械抽气,功率只1-5kW(同抽速下比扩散泵低60%),且启动无需预热,从开机到达到工作真空度只需5-10分钟,大幅提高生产效率。在半导体光刻胶涂覆工艺中,扩散泵每次开机需等待1小时,而气冷罗茨泵可随时启停,单日有效工作时间增加2小时以上。虽然扩散泵真空度更高,但气冷罗茨泵在1×10⁻²Pa至1Pa的高真空区间内,抽气效率(单位能耗的抽气量)是扩散泵的2-3倍,满足90%以上的工业高真空需求。淄博干式真空始终坚持以人为本的原则,人才是公司财富的理念。新疆气冷罗茨真空泵定做
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这种极小间隙既能避免转子旋转时的机械摩擦,又能通过“密封效应”减少气体返流,保证抽气效率。同步传动:转子通过两端的同步齿轮实现反向等速旋转(转速通常为1500-3000r/min),齿轮精度达到ISO5级以上,确保转子在高速运行中始终保持对称位置,避免碰撞。气冷组件集成:与传统罗茨泵不同,气冷型泵在泵壳侧面或排气口位置增设冷却气体入口、回流管路及内置冷却器(如翅片式换热器),冷却气体(通常为洁净空气或氮气)可直接进入泵腔接触转子表面,形成实时散热通道。气冷罗茨真空泵的抽气过程通过转子的连续旋转完成,可细分为四个阶段,每个阶段均依赖容积变化实现气体传输,同时气冷系统全程介入以控制温升:当转子旋转至特定角度时,两个转子与泵壳之间形成一个逐渐扩大的封闭空间(称为“吸气腔”),此时进气口与吸气腔连通,被抽气体在压差作用下进入吸气腔。新疆气冷罗茨真空泵定做