罗茨真空机组**由一对同步反向旋转的 “8” 字形转子、泵腔及传动系统组成,转子与泵腔间保留 0.15-1.0mm 间隙,无摩擦接触,需与前级泵(滑阀泵、液环泵等)串联使用才能实现稳定抽气。工作时,转子旋转使泵腔容积周期性变化,完成吸气 - 压缩 - 排气循环,因泵腔内无油润滑,可避免油蒸汽污染被抽系统。马德宝 ZJ/ZJP 系列转子采用高精度数控机床加工并做动平衡校验,泵体、侧盖经加工中心处理,运转平稳性提升 30%,噪声低至 75dB 以下,极限压力≤1×10⁻¹Pa,抽气速率覆盖 30-10000L/s,适配从粗真空到中高真空的多数场景。
罗茨真空机组采用罗茨泵 + 旋片泵串联,在高真空工况下保持大抽速优势。北京马德宝罗茨真空机组

高压差工况下需采用高效转子冷却技术,**分为三类。转子内部冷却通过轴头油孔注入循环油,经转子内壁带走热量,同时润滑齿轮与轴承,80Torr 压差下可使转子温度低于外壳 78℃,适用于大型机组重载运行。油膜冷却在入口处滴注低饱和蒸汽压冷却油,形成油膜减少返流与尘埃吸附,但会损失无油特性,多用于含微量杂质的气体处理。湿式冷却通过吸入 20℃左右清洁水,利用汽化吸热消除压缩热,需控制注水量为气体流量的 0.3 倍,适配食品干燥等需低温抽气的场景。冷却方式需按压差与介质特性组合,如腐蚀性介质可采用 “水冷 + 防腐涂层” 方案。辽宁往复罗茨真空机组罗茨真空机组采用双罗茨泵串联 + 双级水环泵,极限真空降至 25Pa。

罗茨 - 旋片机组以罗茨泵为主抽泵、旋片泵为前级泵,抽速覆盖 30-1200L/s,极限真空≤4.0×10²Pa,适配温度 - 10℃-40℃,过流材质多为铸铁。其优势在于高效抽取干燥洁净气体,配备气镇装置后可处理含少量水蒸汽(体积占比 < 5%)的介质。应用场景集中在半导体制造(晶圆镀膜前真空处理)、电真空器件生产(电子管抽气)、原子能实验(惰性气体回收),以及医药行业无菌干燥工艺,既能保证真空度稳定,又可避免油污染,符合行业对介质纯度的要求。
机组因停电、超温、超压等突发情况停机后,需按 “泄压 - 检查 - 重启” 规范流程恢复,避免二次损伤。首先打开旁通阀与排气泄压阀,使系统压力从工作压力缓慢降至大气压(泄压速率≤500Pa/s),防止反向压力冲击转子,导致齿轮啮合错位。检查环节需重点排查三项:手动盘车(顺时针、逆时针各转动 3 圈),感受转子是否卡滞,若盘动阻力超正常值 50%,需拆解检查间隙;观察润滑油状态,若出现乳白浑浊(含水量过高)或黑色杂质(金属碎屑),需立即更换;检测冷却管路,通过进出口压力表差值判断是否堵塞(正常差值≤0.1MPa,超差则需冲洗)。重启前需预热电机 5 分钟(通过加热带使绕组温度升至 40℃),按 “冷却系统→前级泵→中间泵→主泵” 顺序启动,每级启动间隔≥2 分钟,待前级压力达规定值(如主泵启动需≤1000Pa、中间泵启动需≤10⁴Pa)方可启动下一级。某化工项目中,原违规恢复流程导致停机后恢复需 4 小时,且多次出现齿轮损伤,规范执行该流程后,恢复时间缩短至 1.5 小时,未再发生设备故障,避免批次生产损失。罗茨真空机组采用永磁同步电机,较传统机型能耗降低 20% 以上。

罗茨机组传动方式分两类,影响运行精度与维护成本。电机与齿轮同侧布置时,主动轴扭转变形小,转子间隙均匀性提升 30%,但轴承数量增至 3 个,装配难度大,适用于精密镀膜等对间隙敏感的场景。电机与齿轮分置转子两侧时,结构匀称且拆装便捷,占市场主流,但需保证轴刚度(直径≥50mm 轴的挠度≤0.02mm),避免运转中间隙变化。齿轮传动需保证精度 6 级以上,齿隙控制在 0.1-0.2mm,润滑采用 N32 极压齿轮油,每 2000 小时更换一次,可降低传动损耗 15%。罗茨真空机组用于低温容器补抽,维持容器长期真空状态。河北水冷式罗茨真空机组
罗茨真空机组适配印染行业,通过主泵与辅助设备实现真空脱水与干燥。北京马德宝罗茨真空机组
在真空镀膜行业的太阳能电池板镀膜中,罗茨真空机组是保障镀膜质量的关键。太阳能电池板的减反射膜需要具备高透光率和良好的附着力,以提升电池板的光电转换效率。罗茨真空机组与磁控溅射镀膜设备配合,能快速将镀膜腔体内的真空度抽至10-4Pa,有效排除氧气、水汽等杂质气体,避免镀膜过程中形成氧化物。机组的稳定抽速确保了镀膜材料蒸汽的均匀沉积,使减反射膜厚度均匀。某光伏企业使用该机组后,电池板的透光率提升了5%,光电转换效率提高了0.8个百分点,为企业带来了***的经济效益。北京马德宝罗茨真空机组
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