广西三叶罗茨真空泵

真空电弧自耗炉依赖高真空环境实现活性金属精炼，罗茨真空泵是其真空系统的**组成。在钛、锆等金属重熔中，其与机械泵、油增压泵串联使用，可将炉内真空度从大气压快速降至 1×10⁻²Pa，抽除炉内氧气与杂质气体，避免金属熔炼时氧化。自耗电极熔化阶段，罗茨真空泵能实时抽除电极释放的气体与熔炼产生的挥发物，配合大电流精炼实现深度除杂，使铸锭纯净度***提升；其 30-1200L/s 的宽范围抽速可适配不同直径电极的熔炼需求，保障熔池稳定性。该设备还具备耐高温特性，在 1000℃以上熔炼温度下仍能稳定运行，支持连续多炉次生产，满足航空航天用高纯度金属铸锭的生产需求。罗茨泵腔内无需用油密封润滑，减少油蒸气对真空系统的污染，适配食品、医药等对洁净度要求高的行业。广西三叶罗茨真空泵

罗茨真空泵易损件的检查与更换需按周期执行。每日检查油位，每月检查联轴器弹性体或三角胶带张力，每季检查齿轮箱润滑油状态，每半年检查前盖轴承箱润滑油和密封件，每年则需***检查轴承、活塞环及齿轮磨损情况。O型圈、密封垫等密封件需重点关注，发现老化损坏立即更换，防止漏气影响性能。润滑油维护需遵循规范流程，直接影响设备寿命。应选择适配的润滑油，定期更换时需彻底清洗油箱和油道，避免新旧油混合污染；齿轮箱和轴承箱的润滑油需分别按要求加注，油位需控制在规定刻度线内。同时，要避免润滑油受污染，防止杂质进入油道造成部件磨损。维护过程中的安全与细节把控至关重要。所有维护操作必须在设备停机并切断电源后进行，操作人员需佩戴防护手套、护目镜等防护用品。避免设备长时间空转，可设置自动启停机制；环境温度需控制在适宜范围，过高或过低均会影响性能；对水分敏感的场景，应安装干燥器并定期维护，防止水分进入泵腔。低噪声罗茨真空泵生产厂家罗茨真空泵在半导体行业中，助力精密加工流程。

某半导体芯片制造企业为提升封装测试环节的真空稳定性，引入罗茨真空泵机组。该机组由罗茨泵与高真空前级泵组成，针对芯片封装对洁净度的要求，采用无油润滑结构避免油污染，通过智能变频系统实时调节抽速，使真空度波动控制在 ±0.1Pa 以内。设备运行后，封装良率提升 3%，工艺周期缩短 15%，满足了高密度芯片的生产需求。某大型化工企业在真空蒸馏生产线改造中，选用耐腐蚀材质的罗茨真空泵。原设备因不耐腐蚀导致频繁故障，新设备采用不锈钢泵体与碳化硅密封环，耐温可达 600℃，寿命延长 5 倍。搭配冷却系统后，可处理含氯腐蚀性气体，抽速稳定在 500m³/h，蒸馏产品纯度从 98% 提升至 99.5%，设备故障率下降 80%。

罗茨真空泵在较宽的压力范围内有较大的抽速，启动快，能立即工作。对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感，转子不必润滑，泵腔内无油，振动小，驱动功率小，结构紧凑，占地面积小，运转维护费用低。这些特点使其在冶金、石油化工、造纸、食品、电子工业等部门得到广泛应用。罗茨真空泵应安装在干燥、通风良好和清洁的场所，环境温度为5-40℃，需水平安装，周围应留有充分的余地，便于日常检查、维护保养和拆装。接通电源后，电机转向应符合泵上转向箭头所示。连接被抽容器的管道应清洁，无杂质等异物，孔径不应小于泵口口径，长度宜短，以保证足够的通导能力，管道连接应密封不漏。
罗茨真空泵性能稳定，保障连续生产不中断。

罗茨真空泵又称机械增压泵，属旋转式容积真空泵，**结构包含泵壳与两个 8 字型转子。转子平行安装在一对轴上，通过传动比为 1 的同步齿轮驱动，实现等速反向旋转，且转子间、转子与泵壳间保持特定间隙不接触，运转时摩擦损失小、功率消耗低，可高速运转。转子由泵壳两侧端盖的滚动轴承支承，借助可调同步齿轮确保高速旋转时的相对位置，固定端特殊结构保障转子与端盖的端面间隙，使泵受热时*向齿轮箱一端膨胀。两侧端盖内的四组聚四氟乙烯活塞环密封装置，能防止油箱润滑油进入泵腔，出轴处的平衡式机械密封可避免大气漏入。冷却方式通常为风冷，高压力工况下推荐选用水冷结构，电动机动力经联轴器传给主动轴，再通过同步齿轮带动从动轴旋转，ZJ 系列为卧式结构，多采用联轴器与电机直联，特殊需求可选用三角带传动。ZJP 型是 ZJ 型的派生产品，抽气原理相同，但进排气口连通且通道上垂直安装重力阀。当进排气口压力差与阀有效作用面积的乘积超阀头自重时，阀自动开启，此数值为泵可靠运转的比较高压力差，使其具备过载自动保护功能。理论上 ZJP 型可在大气压下与前级泵同步启动，但系统容积大时，旁通阀开启时间长，有效抽速小，经济性差，建议前级泵抽到一定压力后再启动 ZJP 型。罗茨真空泵适配性强，可与多种真空系统搭配。低噪声罗茨真空泵生产厂家

罗茨泵转子高速运转，主轴转一周排 4 个泵腔容积气体，有几何抽速公式。广西三叶罗茨真空泵

碳化硅陶瓷的高温烧结（1800-2200℃）需超洁净真空环境与耐腐蚀性设备，罗茨真空泵通过特种材质与系统设计满足需求。在碳化硅生坯烧结过程中，其与低温冷阱、扩散泵组成的复合真空系统，可将炉内真空度稳定在 10⁻⁵Pa 量级，抽除高温下碳化硅分解产生的硅蒸汽与杂质气体，减少单晶缺陷。针对 6-12 英寸碳化硅衬底的烧结，罗茨泵的高转速转子（6000-8000rpm）能实现秒级压力响应，在烧结温度升至 2000℃时，实时抽除衬底表面吸附的氧杂质，保障衬底电学性能（电阻率偏差≤5%）。其泵腔内壁喷涂氮化铝耐腐蚀涂层，可防止硅蒸汽附着造成的设备损伤，延长使用寿命至 8000 小时以上；配合炉体的感应加热系统，能适配 2-8℃/min 的缓慢升温速率，促进碳化硅晶粒定向生长，使衬底平整度达到≤5μm/2 英寸，满足半导体行业的加工要求。广西三叶罗茨真空泵

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